XENOS可在各類要求高測(cè)量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測(cè)量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。
這一測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度達(dá)到技術(shù)極限,其測(cè)量范圍近1立方米，測(cè)量精度達(dá)到0.3μm。
創(chuàng)新的驅(qū)動(dòng)技術(shù)和碳化硅陶瓷材料的使用也確保了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能。
創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計(jì)
ZEISS XENOS新型的機(jī)械設(shè)計(jì)基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 zeiss center max.令人印象深刻。
與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同:Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部,分離式移動(dòng)行程軸僅橫梁于Y軸方向移動(dòng),更小及恒定的移動(dòng)重量一一與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱真正的優(yōu)勢(shì)。
所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)。
其優(yōu)點(diǎn):高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力影響結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù), XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù), XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的*定位精度。
虛擬驅(qū)動(dòng)
于測(cè)量曲面時(shí)更顯見另一優(yōu)勢(shì):測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合,即可實(shí)現(xiàn)越出色的精確性。
虛擬驅(qū)動(dòng) XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),得益于蔡司全新的驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。
該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動(dòng)力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合,這是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測(cè)量精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
碳化硅陶瓷
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)得益于蔡司全新的驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。
該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動(dòng)力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合,這是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測(cè)量精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
碳化硅陶瓷 XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。
迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測(cè)量機(jī)器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時(shí)減重20%。
加強(qiáng)型 vast gold
XENOS采用 zeiss vast gold測(cè)量探頭。
在研發(fā)過(guò)程中,蔡司在測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)度方面對(duì)該探頭進(jìn)行了優(yōu)化 XENOS也采用了新型剛性連接。
VASTgold探頭可與長(zhǎng)度為800毫米的測(cè)針以及重量500克的測(cè)針配套使用,包括非對(duì)稱型測(cè)針。
改進(jìn)的電子設(shè)計(jì)
通過(guò)全新的電子設(shè)計(jì),移動(dòng)線纜對(duì)精度影響顯著降低。
計(jì)算機(jī)輔助精度修正(C-AA)法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得高精度測(cè)量的過(guò)程中扮演著日趨重要的作用。
優(yōu)化的氣浮軸承
全新強(qiáng)化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測(cè)量精度。
