| 設(shè)備名稱 | ? 1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ? 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性； ? 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控； ? 爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 工作電源 | ? 輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz ? 總功率：<> | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數(shù) | ? 溫度：1100℃（<> ? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 工作電壓：110V； ? 額定功率：1.5KW； ? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm。 更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出； ? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 循環(huán)水冷機(jī) | ? 標(biāo)配KJ-5000循環(huán)水冷機(jī)，水流速率：16L/min | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸：1400mm L′600mm W′1240mm H ? 凈重：90 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
