| 設備名稱 | 4路質子混氣管式PECVD系統—OTF-1200X-50-4CLV-PE |
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操作視頻 |
| 外形尺寸 | 長*寬*高 2080mm*700mm*1520mm
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| 爐管規格 | 外徑: 100mm 內徑: 96mm×長: 1800 mm |
| 加熱爐主要參數 | ·溫度: 1200℃ ·額定工作溫度: 1100℃ ·推薦升溫速率:≤10℃/min ·加熱區長度: L總：440mm（雙溫區包括隔環） 溫區一：200mm 溫區二：200mm ·加熱爐額定功率：3KW ·滑動方式：電動控制 ·滑動行程：600mm ·電壓：單相AC 208 - 240V, 50HZ |
| 溫控系統 | 歐陸EPC3000儀表 ·模糊PID控制和自整定調節功能 ·智能化24段可編程控制 ·帶過電流過電壓保護 漏電保護 電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認證標準 ·控溫精度: ±0.1℃ ·控溫：K型熱電偶兩根 ·通訊協議：modbus RTU |
| 軟件控制 | · 可視化運行狀態監控 · 溫控系統，氣路系統，真空系統，射頻系統，滑動爐體，開合爐體，壓力控制，全自動化， · 數據記錄、過程記錄集成一體 · 預制工作流程，一鍵自動運行 · 具有恒壓功能，可以設定氣體流量和恒定壓力 壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進氣量為100-150sccm，管內壓力為 100-130pa，如總進氣量高于150sccm時，請更換抽速更高的泵，測試為總進氣量為1L/min（滿足四路質量流量計全開狀態時），使用VRD-60泵（抽速18L/s），真空為120-130pa（滿足起輝條件）,可在任意供氣量下設定任意氣壓值（該氣壓值需大于搭配泵體的真空值），氣壓值可自動穩定 |
| 新式快捷法蘭 | 可方便快速取放物料 |
| 射頻電源 | ·500W射頻電源 ·0--500W可調（穩定性±1%） ·射頻頻率：13.56MHZ ·自動匹配 風冷 ·噪音＜50dB ·輸入電壓：AC108-250V |
| 供氣系統 | ·四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%） ·流量范圍：一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm 注：接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下 |
| 真空系統 | ·搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進氣量小于150sccm，該泵可以達到等離子發生真空度） ·搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進氣量1L/min，該泵可以達到等離子發生真空度） ·KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵 ·真空度可達10-2Torr |
| 備注 | 注：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況） |
