商品詳情
產品介紹：
測量結果的準確程度對科研工作者來說是至關重要的。為了更好的服務于科學界，Park推出了這款最準確的NX-10型原子力顯微鏡。該儀器具備高速的伺服響應能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環檢測器噪聲水平，和最小的系統熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡單的儀器，NX-10會成為新老用戶的好伙伴。
準確成像，無交叉耦合誤差
業界的XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨立的閉環掃描器控制
業內的平面偏移度，全掃描范圍水平線性誤差小于1nm
垂直掃描器全程伸縮線性度由于0.015%
優化了水平掃描器的ring-ring現象，精準的正向sine-scan算法
準確掃描，真正的非接觸模式
Z軸伺服帶寬超過9kHz，響應速度大于62mm/s
非接觸模式下的掃描速度
極低的探針磨損，保證了長時間高質量掃描
極低的樣品損傷
準確測量，真正的樣品形貌
業內的低噪音檢測器
業內的正反測量偏離量，小于0.15%
優化的散熱部件，極大降低了系統熱偏移
功能強大的隔音罩，艙體內部主動控溫
提高用戶工作效率
開放式樣品空間，樣品及探針更換極為方便
預對準探針安裝與同軸光路設計方便激光調整
的十秒進針功能，探針高速自動完成進針
24為數字電控箱，3路內置鎖相放大器，具備Q-Control和彈性系數校正功能
產品圖片
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規格參數
NX10 AFM——確的表面分析工具
ParkSystems 起源于原子力顯微鏡的誕生地，美國斯坦福大學。公司創始人Sang-ilPark 博士畢業于斯坦福大學應用物理系，參與其導師C.F.Quate 教授發明原子力顯微鏡的過程。畢業后，他于1989 年在硅谷創辦了一家原子力顯微鏡公司ParkScientificInstruments。二十余年來對技術的專研與堅持，成就AFM 業界歷史悠久的ParkSystems 公司。
Park 原子力顯微鏡專心于AFM最基本的性能要求——精確成像，依靠*的三大技術優勢，使其產品在形貌表征上擁有了的精確度。
項技術是采用三軸分離的掃描器，*消除掃描器的交叉耦合，具有業界的平整度和線性度，*消除了掃描器背景彎曲現象。
傳統的原子力顯微鏡采用壓電掃描管進行x-y-z 三軸的掃描，水平掃描實際是通過壓電掃描管的彎曲來實現的。這種彎曲運動會帶來彎曲畸變的測量結果。也就是說，采用管式掃描器進行掃描時，水平彎曲和垂直伸縮是耦合在一起的，這就產生了交叉耦合現象。
對于傳統的原子力顯微鏡而言，這種測量誤差需要通過軟件矯正去除。由于這種彎曲畸變是高階非線性的，并且與掃描大小、掃描速度和掃描位置息息相關。事實上，我們無法通過軟件矯正獲取真正平直的、準確的測量結果。
ParkSystems 開發出的CrosstalkElimination 技術，也就是水平掃描器和垂直掃描器相分離的技術。兩組獨立的柔性掃描器分別移動樣品和探針。水平掃描器用于移動樣品，垂直掃描器用于控制探針上下運動。該技術能夠進行真正平直的掃描，而且所得結果不受掃描大小、掃描速度和掃描位置的影響。
這一點在測量平滑的玻璃樣品時能夠得到特別好的體現，原始結果沒有一點兒背景彎曲現象。在整個80 微米見方的圖像中，平面偏移度小于1nm，這是業界的技術。事實上，不論在這塊平滑玻璃表面的任何位置進行任何大小的掃描，所得結果的平面偏移度都是極小的。
第二項技術是真正的非接觸掃描模式。Park Systems 開發出了大氣環境下成熟的非接觸模式。
因為三軸分離的結構將垂直掃描器獨立出來，它只負責垂直方向上探針的移動，這使得在該軸向上的同步反饋頻率極大增強。相比于壓電陶瓷管垂直方向的反饋頻率只有區區幾百Hz 而言，NX10 的垂直掃描器具有高達9kHz 的同步反饋頻率。如果垂直響應速度不夠快，探針會不時接觸到樣品表面，甚至被黏在樣品表面而無法進行振動。一個解決方法是提高探針和樣品的距離，但是，這種方法會極大地降低橫向分辨率。為了克服這種困難，工程師們研發了敲擊模式，使探針大幅振動，不斷地敲擊樣品表面。這種敲擊的力比通常的接觸力大很多，因而很容易把探針針尖敲鈍，極大地降低了探針壽命。基于壓電陶瓷管掃描器在垂直方向響應較慢的缺點，大多數原子力顯微鏡制造商在大氣環境下都選擇在電磁斥力區采用敲擊模式工作。
NX10 系統采用了線性垂直強力掃描器，該掃描器由壓電陶瓷堆構成。這種掃描器的帶寬超過了9kHz，用于垂直探針控制時，伺服響應速度超過了62 毫米每秒。這種高速響應能力，可以保證精確的探針控制能力。因此NX10 可以在高速掃描時穩定的保持探針與樣品間的距離，這使得真正的非接觸掃描技術得以實現。采用這種技術進行掃描，限度的避免了對樣品的破壞，同時也極大地減小對探針的磨損。對樣品的良好保護使NX10 對樣品的適用性大大增強，楊氏模量硬度低至幾十千帕的柔軟樣品依然可以清晰成像。對針尖的良好保護一方面避免了因針尖磨損變鈍導致的掃描結果的誤差，另一方面也大大延長了探針壽命，降低了NX10 的使用費用。對于深溝槽樣品也可以輕松成像而不必擔心撞斷探針。
第三項技術是真正的樣品表面形貌的表征。NX10 采用了業界的低噪聲閉環檢測器用于樣品形貌采集，消除了采用驅動電壓帶來的遲滯和蠕變誤差。
NX10 采用的低噪聲位移檢測器，能實時檢測垂直掃描器的伸縮情況。以往都是通過壓電掃描器的驅動電壓獲取樣品表面形貌數據，由于壓電掃描器存在蠕變，特別是在高度變化劇烈的區域會出現超調現象。
消除誤差的辦法就是采用獨立的位移檢測器直接測量形貌。這就對位移檢測器的噪聲水平有了更高的要求，越低越好，至少要達到0.5 埃。
垂直位移檢測器是NX10 型原子力顯微鏡的關鍵技術優勢，這是ParkSystems 投入多年心血開發的新型應變傳感器。噪聲水平已經降低到了0.2埃，為業界水平。這種檢測器的測量信號已經可以取代壓電陶瓷驅動電壓，直接用于形貌數據的測量。
采用低噪聲位移傳感器獲取形貌信號的優勢是顯而易見的，尤其對于多片薄層樣品，可以準確的得到每層的高差。
同時，為了進一步保證數據的精確，NX10 還對熱漂移進行嚴格控制。一方面通過使用多種材料復合構建設備，避免熱應力形變對系統的干擾；另一方面，對艙室環境進行主動溫度控制，使溫度變化小于0.05°C/hr。
作為原子力顯微鏡的企業，ParkSystems 致力于為客戶提供準確的測量結果，納米計量的時代前沿。我們的創新技術能夠幫助客戶使用原子力顯微鏡解決各種納米尺度研究和工業生產的應用。ParkSystems 一直專注于原子力顯微鏡技術，致力于為客戶提供長期可靠的技術服務，幫助客戶在學術界和工業界實現各種應用。
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