質(zhì)量流量控制器 SFC5400
針對多種應(yīng)用的多功能控制器
SFC5400質(zhì)量流量控制器以優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性和可重復(fù)性測量和控制質(zhì)量流量，覆蓋寬動態(tài)測量范圍。SFC5400可高度配置，其外殼由金屬制成。此外，流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件，測量50 sccm到200 slm的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成99%校準(zhǔn)和經(jīng)溫度補償?shù)臄?shù)字信號。多氣體校準(zhǔn)可存儲在單個器件上。此外，流量控制器還可檢查激活的氣體校準(zhǔn)與實際氣體是否匹配。SFC5400的通用性使之成為了工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用的理想解決方案。
SFC5400質(zhì)量流量控制器與所有傳感器產(chǎn)品一樣，依賴創(chuàng)新的CMOSens® 技術(shù)，在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件及模擬和數(shù)字處理電路，可保證優(yōu)異的性能。配合優(yōu)質(zhì)材料，SFC5400可實現(xiàn)持久穩(wěn)定、快速和高度精確的流量控制。
SFC5400質(zhì)量流量控制器也提供無閥版本。SFM5400質(zhì)量流量計與質(zhì)量流量控制器具有相同性能特性，可用在類似應(yīng)用當(dāng)中，SFC5400和SFM5400可組合在一起。在SFM5400網(wǎng)站，您可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的更多信息和詳細(xì)規(guī)格。
對于大批量的項目，我們可根據(jù)您的具體要求調(diào)整或開發(fā)您需要的質(zhì)量流量控制器。了解更多關(guān)于定制解決方案信息。
性能參數(shù)
- 超快速氣體流量控制（穩(wěn)定時間＜100 ms）
- 超低流量測量時的高精度（＜ 1sccm）
- 出色的長期穩(wěn)定性和可靠性
- 無老化效應(yīng)
- 寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）
- 多氣體配置
- 高配置
- 源于CMOSens®技術(shù)的*性價比
- 數(shù)字和模擬接口
- 靈活機械連接選項：向下安裝、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
- 如有需要，可提供定制版本
應(yīng)用
- 分析儀器 （如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
- 科研 （如、）
- 工業(yè)過程自動化 （如涂覆、熱處理）
- 半導(dǎo)體行業(yè) （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
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