EL-FLOW METAL SEALED
高純度氣體應用
Bronkhorst金屬密封氣體質量流量測量儀表和控制器以其*的、全金屬密封結構為特征。除此之外，該款流量計還以其高性能、高質量將其與市場上的其它產品區分開來，因此，該款儀器特別適合于半導體產業以及高純度氣體運用場合。質量流量測量儀表和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。
- 最小流量范圍：0.12…6 mln/min
- 流量范圍： 1… 50 ln/min
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目前市場上的儀表都內置集成數字電路板，從而使儀表具有高精度、超穩定的溫度以及快速的反應時間的特點（可設置的時間從 t98 可以低至500 msec）。的EL-FLOW® 設計風格的產品具有多氣體/多范圍功能，從而為客戶（OEM）提供了可選的靈活性以及高效率工藝。為了方便客戶，布瑯軻鍶特高科技公司還提供了免費的且方便運用的配置軟件。
特點
- 高精確度 (標準 0.5% Rd + 0.1% FS)
- 可進行重復密封的全金屬外部密封結構（無密封圈）
- 電拋光過流部件
- 無塵組裝
- 多介質/多范圍可調節功能
- 模擬通訊和數字I/O, 可與如下任意集成接口連接：
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS - 無零飄（不需要零點自動調整電路）
- 高精度、重復性高
更多資料
| Brochures | |
|---|---|
| Metal Sealed Mass Flow and Pressure |  |
| Manuals | |
|---|---|
| Quick installation guide EL-FLOW Select | |
| Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed) | |
| Hook-up diagrams | |
|---|---|
| Analog IO – RS232 | |
| DeviceNet | |
| EtherCAT | |
| FLOW-BUS | |
| Modbus | |
| Optional Bus and IO Configurations | |
| PROFIBUS DP | |
| PROFINET | |
| CANopen | |
EL-FLOW METAL SEALED F-111CM
- Min. flow 0,12...6 mln/min
- Max. flow 1... 50 ln/min
- Pressure rating 100 bar
- Metal-to-metal outer seals
- Cleanroom assembled
EL-FLOW METAL SEALED F-201CM
- Min. flow 0,12...6 mln/min
- Max. flow 1... 50 ln/min
- Pressure rating 64 bar
- Metal-to-metal outer seals
- Cleanroom assembled
