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物品信息:
派克955系列1-1/4英寸不銹鋼閥體隔膜閥能夠提供出色的抗漏能力,長久的使用壽命以及低雜質生成。這些優點使它成為高純半導體應用的理想選擇。
955系列在過程流體的使用中采用無螺紋及彈簧連接,這種設計能夠大限度的減少雜質的生成并且可以使過程減少污染,而這是半導體應用的關鍵。嚴格的閥門設計能夠控制閥座及膜片的壓力,從而提供穩定的免維護的使用壽命。
這些材質組成了955系列嚴格的設計特征,為955系列提供了的抗腐蝕性,在入口壓力250 psig時達到更大的使用壽命。
955系列閥的內部(閥座)密封和金屬外部密封均采用質譜儀進行氦氣泄漏測試,以獲得其在高要求的超高純應用中有出色穩定的表現。
市場需求:
• 半導體
• 分析實驗室
• 制藥業
• 生物制藥業
• 航空航天
• 工業
特點/優勢:
• 5微英寸(Ra)電解拋光表面光潔度
• 高使用壽命(包含腐蝕性條件下)
• 內部無彈簧和無螺紋設計,更大限度的減少了雜質的生成和氣體的卷入
• 從真空到250 psig適用
• 內部泄漏率:≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 標稱AOP驅動壓力為75 psig
應用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導體工具
• 工具連接
• 特氣柜
• 閥箱