
該儀器是檢測模具、封裝或PC板水平上所//有類型靜態缺陷(短路、泄漏、高電阻開啟和斷路開啟)的很好的工具。該儀器結合了兩個傳感器的功能,實現了很好的靈敏度和亞微米的分辨率的統一。這允許單個系統可以處理任//何類型的設備和任//何類型的靜態缺陷。
應用
1.解決了所//有的靜態缺陷:短路、泄漏和斷路。
2.三維缺陷定位計算樣本表面到當前路徑的距離,當直流電跡可用時,新的軟件能夠在所//有三維重建當前路徑。
3.由于磁場滲透所//有材料,SQUID 傳感器可以很自然的發現封裝短路故障。
4.使用大于500nm空間分辨率的HiRes傳感器定位模具短路。磁場分辨率不受波長的限制,只受傳感器尺寸和掃描距離的限制。
5.在500nA電流靈敏度下,可以發現ω電阻的泄漏。
6.使用SDR技術,在檢測電流產生的射頻磁場時,應用高頻信號(20MHz至200MHz),可以發現故障。