博思發(fā)科技公司的PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空傳感器提供了突破性的真空測(cè)量解決方案，不但體積小，而且具有超低功耗、長(zhǎng)壽命、低現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)和低成本的優(yōu)點(diǎn)。依據(jù)氣體熱導(dǎo)率與低真空范圍的壓力成正比的原理，博思發(fā)科技公司的微型皮拉尼真空傳感器測(cè)量加熱元件電阻值的微小變化，這一變化產(chǎn)生的原因是熱量傳遞到周?chē)鷼怏w而引起的溫度改變，與氣體熱導(dǎo)率相關(guān)。加熱元件(測(cè)量電阻)由位于絕熱膜上的鉑薄膜電阻構(gòu)成。絕熱膜懸浮在一個(gè)微加工的空腔上，空腔底部表面與絕熱膜平行，以確保精準(zhǔn)測(cè)量熱導(dǎo)率。因?yàn)橹恍枰倭繗怏w(腔內(nèi)體積)就可以實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量，所以博思發(fā)科技公司的微型皮拉尼真空傳感器具有超低功耗和快速響應(yīng)時(shí)間。傳感器芯片上有一個(gè)參考電阻，具有與測(cè)量電阻相同的溫度系數(shù)(TCR)，可用來(lái)做環(huán)境溫度補(bǔ)償。博思發(fā)科技公司采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的微型皮拉尼真空傳感器，在小型化的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了高可靠性、低成本、使用方便和超低功耗，PVC1000系列產(chǎn)品已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。采用PVC1000系列傳感器可以幫助客戶(hù)改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品并開(kāi)發(fā)出創(chuàng)新產(chǎn)品。