流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
詳細(xì)參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn): 氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K） 標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA 輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V 輸出電壓檢測…………0～+5.00V 產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo) 滿量程流量范圍（N2） 5SCCM～10SLM/MIN 控制范圍 2～F.S. 閥類型（及閥初始狀態(tài)） 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） 準(zhǔn)確度 ±1.5％F.S. 線性 ±0.5～1.5％F.S. 重復(fù)精度 ±0.2％F.S. 響應(yīng)時間 ≤7sec 工作溫度范圍 5～45℃ 工作壓差 0.1～0.5MPa 耐壓 3MPa 漏氣率 1×10-8atm.cc/sec He 通道濕材料 316L不銹鋼、密封材料 靜密封材料 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） 電連接器 D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale 動密封材料 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） 接頭選擇 VCR 1/4” Swagelok 1/4”或φ6、φ3 重量 1.1Kg
輸入和輸出:
