高性價比金屬密封產品，高精度，多氣體多量程，自動調零，量程2sccm-30slm，全金屬密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
詳細參數
產品技術指標
產品型號 CS200-D 量程(N2) ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM 精度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) 重復精度 ±0.2% FS 線性 ±0.5% FS 響應時間 ≤0.8 sec (SEMI E17-0600) 閥類型 Normally Closed or Normally Open 溫度系數 Zero: ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃ 零點漂移指標 ＜0.6%F.S. per year without autozero 表面粗糙度 25µinch 工作環境溫度 （0～50）℃ 數字信號接口 ital: RS485
DeviceNetTM 模擬流量輸出信號 0-5V和4-20mA 模擬流量控制信號 0-5V和4-20mA 電源要求 ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) 電連接器 D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale 工作壓差范圍 (0.05～0.35) Mpa（≤10slm）
(0.1～0.35) Mpa（>10slm） 耐壓 3MPa 漏率 1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He） 密封材料 Metal 表面化學成分 Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 接頭尺寸 VCR1/4” M
SwagelokΦ6，Swagelok1/4”
W-seal，C-seal 重量 1.2kg
