3D顯微鏡激光拉曼光譜系統是綜合性多功能顯微拉曼光譜系統,可實現拉曼與原子力顯微鏡聯合測量,進而提供3D激光共聚焦拉曼功能和AFM-Raman/TERS針尖增強拉曼光譜功能。
3D顯微鏡激光拉曼光譜系統可配置多種顯微鏡,比如正置顯微,倒置顯微鏡,透射顯微鏡，系統配有內置的光譜校準源和自動共焦對準設施,可配備4個波長激光器并全自動轉換,計算機控制的光路可以轉換為UV,VIS,NIR光譜范圍。
“大面積掃描選項”–大樣本的快速Mapping映射
?具有毫米、厘米或更大掃描區域的步進電機位移臺支持拉曼成像。
?通過同步恒速樣本移動和數據采集進行快速掃描。
?在點掃描和快速掃描之間輕松切換。
?可與“線掃描”選項組合。
※此掃描選項需要步進電機位移臺。
3D顯微鏡激光拉曼光譜系統規格
系統配置
3D共焦拉曼光譜配置
Mapping范圍:100x100x20um,采用壓電位移臺＊標準參數與AFM集成獲得。也可提供高達300x300x100μm的更大行程范圍的位移臺。
Mapping速度 ＜3ms/point（全光譜保存）＊采用EM-CCD ADC 3MHz。
※對于激光線：XY邊緣響應10~90%，Z面響應半高寬FWHM
※提供低頻拉曼可選（＜10cm^-1）。檢測通道光程吞吐量校正選項可選配。
※測量條件：CCD中心,中心波長550nm,CCD像素尺寸16×16μm2
※測量條件：中心波長550nm，CCD像素尺寸16×16μm2
標準內置激光器（連續波CW激光器用于拉曼）
激光波長（nm） 473 532 785 632.8
功率（mW） 20 50 80 32
空間模式 TEM00
M2 <1.1 <1.2 <1.1
譜線寬度（MHz） <10 <50 <160
偏振對比度 >100:1
光譜儀參數
光學結構 Czerny-Turner
焦距 550mm
入口狹縫 2條電動交叉縫，獨立控制，寬度0～2 mm
出口： 2個
電動轉臺 帶3個光柵
光柵選擇 150、300、600、1200、1800、2400、3600 G/mm，階梯形（75 G/mm）
探測器規格配置
類型：制冷型 CCD (EMCCD)探測器
制冷：-100 ℃ (水冷)、-80 ℃ (空氣制冷)
DU970P EMCCD：High-end model with electron multiplying ability High speed 3MHz ADC推薦用于高速和高靈敏度測量.
DU920P CCD和DU940P CCD：High speed 3MHz ADC 適合高速測量，普通靈敏度測量
DU401A CCD和DU420A CCD：100kHz ADC低成本配置
3D顯微鏡激光拉曼光譜系統可配置多種顯微鏡,比如正置顯微,倒置顯微鏡,透射顯微鏡，系統配有內置的光譜校準源和自動共焦對準設施,可配備4個波長激光器并全自動轉換,計算機控制的光路可以轉換為UV,VIS,NIR光譜范圍。
“大面積掃描選項”–大樣本的快速Mapping映射
?具有毫米、厘米或更大掃描區域的步進電機位移臺支持拉曼成像。
?通過同步恒速樣本移動和數據采集進行快速掃描。
?在點掃描和快速掃描之間輕松切換。
?可與“線掃描”選項組合。
※此掃描選項需要步進電機位移臺。
3D顯微鏡激光拉曼光譜系統規格
系統配置
| 一體機 | 光機單元、光譜儀、顯微鏡、多個激光器和控制器集成于一體 |
| 花崗巖框架 | 支撐優異的光學系統穩定性 |
| 多結構顯微鏡 | 正置顯微鏡,倒置顯微鏡，透射-可重構明暗場顯微鏡，熒光觀察模式；顯微鏡物鏡轉臺，TV-CCD相機 |
| 掃描系統 | 壓電位移臺（X-Y-Z）或（X-Y）步進電機位移臺或原子力顯微鏡（AFM） |
| 激發拉曼激光器 | 最多3個內置端口加1個外部端口 |
| 光譜儀 | 裝配在花崗巖底板上，f=55cm，2個出口，3個電動光柵安裝在可交換轉臺上 |
| 探測器 | 對于VIS-Raman采用制冷型CCD或EMCCD，對于NIR-Raman或PL采用InGaAs，對于熒光壽命測量采用帶TCSPC的APD |
| 電腦和液晶顯示器 | AFM配置2臺顯示器 |
| 軟件 | 高級Nanofinder軟件 |
Mapping范圍:100x100x20um,采用壓電位移臺＊標準參數與AFM集成獲得。也可提供高達300x300x100μm的更大行程范圍的位移臺。
Mapping速度 ＜3ms/point（全光譜保存）＊采用EM-CCD ADC 3MHz。
| 空間分辨率（典型值） | ||||
| 激光波長（nm） | 473 | 532 | 785 | |
| 物鏡100×0.95（空氣） | XY(nm) | 200 | 220 | 500 |
| Z(nm) | 500 | 550 | 850 | |
| 物鏡150×1.25（水） | XY(nm) | 180 | 200 | - |
| Z(nm) | 400 | 420 | - | |
| 拉曼位移Raman shift測量范圍 | |||
| 激光波長（nm） | 473 | 532 | 785 |
| 波數范圍（cm-1） 采用BR-DD CCD | <150～>4000 | <60～>4000 | <60～>3000 |
| 光譜分辨率：譜線半高寬FWHM | ||
| 光柵（G/mm） | 1800 | 75（梯形Echelle） |
| 分辨率（cm-1） | 0.8 | 0.25 |
| 光譜精度：CCD 的1個像素測量 | ||
| 光柵（G/mm） | 1800 | 75（梯形Echelle） |
| 精度（cm-1） | 0.43 | 0.1 |
標準內置激光器（連續波CW激光器用于拉曼）
激光波長（nm） 473 532 785 632.8
功率（mW） 20 50 80 32
空間模式 TEM00
M2 <1.1 <1.2 <1.1
譜線寬度（MHz） <10 <50 <160
偏振對比度 >100:1
光譜儀參數
光學結構 Czerny-Turner
焦距 550mm
入口狹縫 2條電動交叉縫，獨立控制，寬度0～2 mm
出口： 2個
電動轉臺 帶3個光柵
光柵選擇 150、300、600、1200、1800、2400、3600 G/mm，階梯形（75 G/mm）
| 光柵(G/mm) | 600 | 1800 | 75(Echelle) | |
| CCD上范圍 | nm | 75.5 | 21.4 | 4.8 |
| cm-1 | 2509 | 708 | 159 | |
| 色散 | nm/pixel | 0.047 | 0.0134 | 0.0031 |
| cm-1/pixel | 1.55 | 0.44 | 0.1 | |
探測器規格配置
類型：制冷型 CCD (EMCCD)探測器
制冷：-100 ℃ (水冷)、-80 ℃ (空氣制冷)
DU970P EMCCD：High-end model with electron multiplying ability High speed 3MHz ADC推薦用于高速和高靈敏度測量.
DU920P CCD和DU940P CCD：High speed 3MHz ADC 適合高速測量，普通靈敏度測量
DU401A CCD和DU420A CCD：100kHz ADC低成本配置
配備原子力顯微鏡內容
| 型號 | SmartSPM™1000 +HE002 | CombiScope™1000 +HE001 | CombiScope™1000 +HE002 |
| 可配顯微鏡類型 | 正置顯微鏡 | 倒置顯微鏡 | 正置/倒顯微鏡均可 透射顯微鏡 |
| 低倍物鏡和高倍物鏡切換 | YES | No | 正置顯微鏡可以:YES 倒置顯微鏡不可以:No |
| 物鏡的數值孔徑用于 AFM-Raman工作 | 100×0.7 | 100×1.4 浸油型 | 100×0.7(top) 100×1.4 Oil(bottom) |
| SPM掃描探針 顯微鏡頭定位(X×Y,mm) | 手動12.7×12.7 | 電動1.6×1.6 mm 分辨率1μm | 電動1.6×1.6 mm 分辨率1μm |
| 樣品大小(X×Y,mm) | 40×50×15 | 標準顯微鏡載玻片 | 標準顯微鏡載玻片 |
| 樣品定位(X×Y,mm) | 電動5×5、分辨率1μm | 手動25×25 | 手動25×25 |
| 掃描范圍(X×Y×Z,μm) | 100×100×15 | 100×100×20 | 100×100×20 |
| 掃描頭共振頻率 (非負載下, Hz) | XY：7000 Z：15000 | XY：450 Z：1100 | XY：450 Z：1100 |
| 掃描速度 (line/sec.) | 50 | 2 | 2 |
| 注冊系統噪音 (nm) | <0.1 | <0.03 | <0.1 |
| 掃描器噪音 (nm,rms) | XY：<0.1（F.B.ON） <0.02（F.B.OFF） Z:<0.04（F.B.ON） | XY：<0.1（F.B.ON） <0.02（F.B.OFF） Z:<0.1（F.B.ON） | XY：<0.1（F.B.ON） <0.02（F.B.OFF） Z:<0.1（F.B.ON） |
| 液體中工作 | No | Yes (optional) | No |
