小管型熱式氣體質量流量計

0.502

1.235

0.5050

07

CCl⁴

0.1297

6.86

0.3052

08

四氟化碳 CF⁴

0.1659

3.9636

0.4255

09

甲烷 CH⁴

0.5318

0.715

0.7147

10

乙炔 C²H²

0.4049

1.162

0.5775

11

乙烯 C²H⁴

0.3658

1.251

0.5944

12

乙烷 C²H⁶

0.4241

1.342

0.4781

13

丙炔 C³H⁴

0.3633

1.787

0.4185

14

丙烯 C³H⁶

0.3659

1.877

0.3956

15

丙烷 C³H⁸

0.399

1.967

0.3459

16

丁炔 C⁴H⁶

0.3515

2.413

0.3201

17

丁烯 C⁴H⁸

0.3723

2.503

0.2923

18

丁烷 C⁴H¹⁰

0.413

2.593

0.2535

19

戊烷 C⁵H¹²

0.3916

3.219

0.2157

20

甲醇 CH³OH

0.3277

1.43

0.5805

21

乙醇 C²H⁶O

0.3398

2.055

0.3897

22

三氯乙烷 C³H³Cl³

0.1654

5.95

0.2763

23

一氧化碳 CO

0.2488

1.25

0.9940

24

二氧化碳 CO²

0.2017

1.964

0.7326

25

C²N²

0.2608

2.322

0.4493

26

氯氣 Cl²

0.1145

3.163.

0.8529

27

氘氣 D²

1.7325

0.1798

0.9921

28

氟氣 F²

0.197

1.695

0.9255

29

四氯化鍺 GeCl⁴

0.1072

9.565

0.2654

30

鍺烷 GeH₄

0.1911

1.627

0.9940

34

氟化氫 HF

0.3482

0.893

0.9940

35

碘化氫 HI

0.0545

5.707

0.9930

36

硫化氫 H₂S

0.2278

1.52

0.8390

37

氦氣 He

1.2418

0.1786

1.4066

38

氪氣 Kr

0..0593

3.739

1.4066

39

氮氣 N₂

0.2486

1.25

0.9940

40

氖氣 Ne

0.2464

0.9

1.4066

41

氨氣 NH₃

0.5005

0.76

0.7147

42

一氧化氮 NO

0.2378

1.339

0.9702

43

二氧化氮 NO₂

0.1923

2.052

0.7366

44

一氧化二氮 N₂O

0.2098

1.964

0.7048

45

氧氣 O₂

0.2196

1.427

0.9861

46

PCI ₃

0.1247

6.127

0.3559

47

磷烷 PH₃

0.261

1.517

0.6869

48

五氟化磷 PF₅

0.1611

5.62

0.3002

49

三氯氧磷 POCI₃

0.1324

6.845

0.3002

50

四氯化硅 SiCI₄

0.127

7.5847

0.2823

51

四氟化硅 SiF₄

0.1692

4.643

0.3817

52

硅烷 SiH₄

0.3189

1.433

0.5954

53

二氯氫硅 SiH₂CI₂

0.1472

4.506

0.4095

54

三氯氫硅 SiHCI₃

0.1332

6.043

0.3380

55

六氟化硫 SF₆

0.1588

6.516

0.2624

56

二氧化硫 SO₂

0.1489

2.858

0.6829

57

四氯化鈦 TiCI₄

0.1572

8.465

0.2048

58

六氟化鎢 WF₆

0.0956

13.29

0.2137

59

氙氣 Xe

0.0379

5.858

1.4066