紫外臭氧清洗機（UVO）
工作條件
工作環境溫度：5-35℃； 2.2.工作環境濕度：≤70%；
電源：220/240V、50/60HZ。
紫外臭氧清洗機的應用案例包括:
表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學反應、光學部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等
適用樣品類型:石英、硅、二氧化硅、氮化硅、金、鎳鋁、
砷化鎵、氧化鋁、玻璃、不銹鋼等
儀器基本配置：主機+電源線+說明書
紫外臭氧清洗機（UVO）
技術參數
UV燈類型 | 人造石英紫外格柵燈 |
UV燈主要波長 | 185 nm 和 254 nm |
UV燈規格 | 100 mm x 100 mm |
UV燈電流 | 30 mA (恒定) |
254 nm 輸出強度 | 100厘米距離的光強度為20 µW/cm2 |
UV 燈使用壽命 | T80 (2000小時); 8-10年標準日常使用時間 |
電源 | 電源220-240 VAC 保險絲：1A |
選配的AC/AC 變壓器 | 110 V / 230V |
運行時間 | 59 分鐘59秒 |
安全特征 | 安全互鎖裝置, 高溫報警, 熱熔斷路 |
托盤尺寸 | 100 mm x 100 mm |
樣品尺寸 | 100 mm x 100 mm |
處理樣品高度 | 14mm |
外形尺寸 | 寬 204 mm 高 227 mm 長 300 mm |
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