SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

SHINKU真空光學裝配用多軸機械臂VM-150

多軸機械臂VM-150

介紹：

本產品是通過超高真空中的冷凍機、高真空中的冷凍機等的移動及測定等實驗，設計成能夠正確且再現性地操作大氣中的上下移動或X.Y的平行移動，并進行精密的制作、組裝，以達到功能的優秀和精度本公司的產品廣泛應用于各方面。

規格：

XY平行移動：移動±10mm

移動密度10μ以下

Z方向移動：移動130mm

移動密度50μ以下

安裝法蘭：上部??ICF70FT

下部…ICF152 FH

焊接貝羅：外徑60mm內徑40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

簡易型機械臂KMV-70　ST100

本產品通過超高真空中樣品等的移動及測定等實驗設計，可在大氣中進行上下移動或X.Y的平行移動，本產品廣泛應用于各方面。

規格

X.Y平行移動：移動±5mm

Z軸移動量：100m/m

安裝法蘭：上部法蘭ICF70FT

下部法蘭ICF70FH

焊接貝羅：使用內徑40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

冷凍機用機械臂CLM-70/70

本產品是通過超高真空中的冷凍機、高真空中的冷凍機等的移動及測定等實驗，設計成能夠正確且再現性地操作大氣中的上下移動或X.Y的平行移動，并進行精密的制作、組裝，以達到功能的優秀和精度本公司的產品廣泛應用于各方面。也制作XY軸、Z軸的馬達驅動。

規格

X.Y平行移動：移動±6.5mm（手動）、移動精度10μm以下

Z方向移動：100～200m/m（手動）、移動精度50μm以下

安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動法蘭ICF70FT

焊接貝羅：外徑φ60mm內徑φ使用40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下