等離子體增強化學氣相沉積系統
PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上可達8路MFC和多樣化的氣體選擇；
均勻性：≤±3%；
預抽真空室和自動晶片裝卸門；
全自動控制；
應用領域：
等離子誘導表面改性；
等離子清洗；
等離子聚合；
SiO2, Si3N4, DLC及其它薄膜；
碳納米管(CNT)的選擇性生長。
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等離子體增強化學氣相沉積系統
PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上可達8路MFC和多樣化的氣體選擇；
均勻性：≤±3%；
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| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
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| 艾德克斯ITECH 微功耗量測以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W | 面議 | 深圳市 | 深圳市賽儀歐電子有限公司 | 2025-03-04 | 在線詢價 |
| 測長機計量儀器 | ￥424000 | 深圳市 | 深圳市中圖儀器股份有限公司 | 2025-05-14 | 在線詢價 |
| 羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭 | 面議 | 無錫市 | 無錫徽科特測控技術有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| 激光功率測量系統 LPMS | 面議 | 上海倍藍光電科技有限公司 | 2025-04-08 | 在線詢價 | |
| 水分活度測量儀廠商 | 面議 | 常州市 | 常州金壇泰納儀器廠 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
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