產品特性:
- 可在一臺儀器上實現納米尺度、微米尺度及大載荷尺度下的壓痕、劃痕與摩擦測試
- 壓痕、劃痕與摩擦磨損*符合ASTM及ISO的標準
- 模塊化設計：可根據客戶需求任意選擇納米/微米/大載荷模塊的壓痕/劃痕/磨損功能
- 磚利的設計可保證系統具有高穩定性與高的精度
- 可拓展性強：可隨意升級已有設備到多種測試功能
技術參數：
- 工作臺自動控制范圍：150 mm×150mm
- Z方向自動移動范圍：50mm
- 工作臺定位精度：1μm
- 光學顯微物鏡：5X,10X,20X,50X,100X可選
- 總放大倍數：200X, 400X,800X,2000X200X, 4000X可選
- 納米壓痕儀/納米劃痕儀/納米摩擦磨損儀
- 微米壓痕儀/微米劃痕儀/微米摩擦磨損儀
- 大載荷壓痕儀/大載荷劃痕儀/大載荷摩擦磨損儀
可選件：
- 測量模塊：客戶需要自己選擇納米模塊、微米模塊與大載荷模塊其中之一
- 光學鏡頭：客戶需要自己選擇光學鏡頭的個數與倍率
- 原子力顯微鏡
產品應用：
- 薄膜及超薄膜(金屬膜、陶瓷膜、Low k 膜、多層復合膜等)
- 復合材料(樹脂基、陶瓷基、金屬基、纖維增強材料表面及界面等)
- 聚合物 (共混物、共聚物等)
- 生物及仿生材料(細胞、骨組織、血管、牙齒、支架等)
- 金屬及合金(晶面/晶界/組織相、金屬玻璃、稀土等)
- MEMS (微懸臂、微鏡、微泵等)
- 陶瓷材料
- 電子及半導體(硅片、藍寶、硬脆及軟脆材料等)
