萊峰科技
閥門配件 /整體式閥帽針閥
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超長耐用 輕便簡潔 操作簡單 放心選擇
您的肯定，是我們前進的動力
不受溫度壓力的影響如何控制？
特點
? *零點穩定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
? 能夠根據命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計
? 流量范圍寬 - 從3 sccm 一直到3000 slm
? 耐高壓等級 - 高達 10MPA
? 可拆卸式流量傳感器
? 不受安裝角度影響
? 能和其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
? 電驅動閥超調
? 耐化學腐蝕閥門
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
耐用
耐腐
☆主體采用不銹鋼（304或316L）結構，氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。
穩定
精確計量
安裝便捷
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。
☆配合流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
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環保
半島體
微電子工藝設備
醫藥
科研院所
精密濃度傳感器工藝
特種材料學科
化學化工
食品保鮮
用于對氣體質量流量進行精密測量和控制，具有精度高，穩定性好，可靠性高，安裝簡單，操作方便。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
| 編號 | 項目 | LF420-SC | LF420-SM |
| 1 | 流量規格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min | |
| 2 | 閥門類型 | 電磁調節閥 | |
| 3 | 閥門狀態 | 常閉 | |
| 4 | 準確度 | ±1.0%F.S(≤30SLM) ±1.5%F.S(＞30SLM) | |
| 5 | 線性 | ±0.5%F.S | |
| 6 | 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 7 | 響應時間 | ≤2秒 | |
| 8 | 工作壓差 | （50～500）kPa; （100～300）kPa(10～10L/min) | |
| 9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
| 10 | 環境溫度 | （5～45）℃，可選（-20～80）℃ | |
| 11 | 材料 | 不銹鋼304或316L | |
| 12 | 密封材料 | Viton®， EPDM， 金屬密封或其他由用戶 | |
| 13 | 漏率 | 1×10-7Pa.m3/s | 1×10-9Pa.m3/s |
| 14 | 接頭 | Φ6mm～Φ10mm, 1/8”…3/4”。或其他 | |
| 15 | 模擬信號 | （0…5）V （4…20mA） | |
| 16 | 數字信號 | RS232/485 Modbus-RTU協議 | |
| 17 | 供電電源 | +15…24VD或±15VDC | |
機械連接
故障判斷和處理一覽表
| 序號 | 故障現象 | 可能原因 | 檢查及處理方法 |
| 1 | 無氣流流過輸出電壓0V | 1.1 閥控開關關閉 | 確認閥控開關，在“閥控”或“清洗”位 |
| 1.2 無設定信號 | 檢查“內外”開關的狀態，設定電位器。測量設定電壓。 | ||
| 1.3 氣路不通或氣壓差小 | 檢查氣源壓力、氣路通暢、有無泄漏。 | ||
| 1.4 過濾器堵塞 | 更換過濾器 | ||
| 1.5 控制器內部故障 | 檢查是否有閥電壓，無閥電壓，修理電路板，有閥電壓，換閥。 | ||
| 1.6 內部通道故障 | 檢查通道 | ||
| 2 | 無氣流，輸出電壓不為零 | 2.1 零點偏差 | 斷開外調零，調整調零電位器 |
| 2.2 電源供電故障 | 測量控制器插頭處±電源對零電壓值， | ||
| 2.3 線路故障 | 檢查線路有無開路，短連及錯誤。 | ||
| 2.4 控制器內電路故障 | 更換線路板或傳感器 | ||
| 3 | 有氣流，能控制，無流量輸出電壓 | 3.1 流量信號線路不通 | 檢查接線，測量流量信號對零電壓。 |
| 3.2 顯示儀故障 | 測量顯示儀插頭處流量信號對 零電壓。如有電壓，則顯示儀故障。 | ||
| 3.3 控制器內電路故障 | 測量控制器插頭處流量信號對零電壓。如無電壓，則控制器內電路故障。 | ||
| 4 | 有氣流，有顯示，不能控制 | 4.1 地電平不正常 | 檢查所有地線是否正確連接，有無開路。 |
| 4.2 設定信號不能調節 | 測量設定信號能否調節，是否接線錯誤或故障。 | ||
| 4.3 零點嚴重偏差 | 斷開外調零，關閉調零 | ||
| 4.4 強電磁干擾 | 在無干擾環境測試應正常。改善電磁干擾。 | ||
| 4.5 控制器電路故障 | 更換電路板 | ||
| 5 | 閥有較大漏 氣 | 5.1 零點偏差 | 斷開外調零，調整調零電位器為零或略微正偏。 |
| 5.2 設定電壓不能到零 | 測量設定電壓是否到零。可能設定電位器損壞。 | ||
| 5.3 關閉信號故障 | 分別打“閥控”和“關閉”，測量其電壓是否正常。 | ||
| 5.4 出入口氣壓差太大 | 減小氣壓差 | ||
| 5.5 閥門污染 | 清洗閥門，更換密封件 | ||
| 5.6 控制器內部故障 | 更換電路板或修整電磁閥 | ||
| 6 | 氣流控制不穩定 | 6.1 氣源壓力不穩 | 穩定氣源壓力，出入口壓差在規定之內。 |
| 6.2 氣路內阻過大 | 暢通管道，大流量要加粗管道，提高氣源供氣能力。 | ||
| 6.3 設定信號不穩 | 用示波器測量設定信號的穩定性，并測量±電源對零電壓值和穩定性。 | ||
| 6.4 外調零信號不穩 | 斷開外調零信號 | ||
| 6.5 控制器內故障 | 更換線路板，清洗通道，維修電磁閥 | ||
| 7 | 有氣流，無顯示。不能調控制 | 7.1 傳感器故障 | 7.1 傳感器故障修理傳感器及線路，清洗傳感器通道。 |
| 8 | 高頻干擾流量控制 | 8.1 供電系統地線、零線連接或機殼接地有問題 | 檢查接地或絕緣隔離，接地系統注意一點接地。 |
| 8.2 信號電平連接點問題 | 檢查信號及零電平連接線點，杜絕線路干擾串入。 | ||
| 8.3 空間電磁場干擾 | 遠離干擾源及屏蔽隔離. | ||
| 9 | 流量控制不正常 | 9.1 零點偏差 | 斷開外調零，調整調零電位器 |
| 9.2 電源供電故障 | 測量控制器插頭處±電源對零電壓值， | ||
| 9.3 氣路或氣壓差不正常 | 檢查氣源壓力及壓差，氣路有無堵塞、污染，有無泄漏。 | ||
| 9.4 設定信號不正常 | 測量設定信號電壓值。 | ||
| 9.5 控制器內部故障 | 更換傳感器，電路 | ||
| 10 | 實際氣流值與顯示值偏差過大 | 10.1 控制器與顯示量程或單位不匹配 | 匹配控制器與顯示儀。顯示儀設定和顯示電壓范圍是否為（0…5）V或（4…20mA） |
| 10.2 零點偏差 | 調整調零電位器 | ||
| 10.3 氣源或氣壓差 不正常 | 檢查氣源壓力，出入口氣壓差。 | ||
| 10.4 控制器污染 | 清洗傳感器通道 | ||
| 11 | 無氣流，零點不穩或慢漂移 | 11.1 外調零信號不穩 | 斷開外調零 |
| 11.2 控制器內部故障 | 維修或更換傳感器及電路 |
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