PI固化爐 晶圓干燥箱 高溫?zé)o塵無氧箱

智能烘箱過程管理系統(tǒng)由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對(duì)接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤，過程管理。控制方便、操作簡(jiǎn)單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！

無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。

烘箱主要參數(shù)介紹：

溫度范圍：室溫+20℃～300/400/500/600℃

規(guī)格尺寸：

均勻度：±1.5%

潔凈等級(jí)：Class10  Class100（潔凈度要求可根據(jù)客戶需求配置）

含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根據(jù)客戶需求配置）

升溫速度：常溫～+600℃,升溫速率：0~7℃/min，升溫斜率程序可控

降溫速度：降溫斜率程序可控

控制系統(tǒng)：PCL+PC工控電腦。

公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司

業(yè)務(wù)經(jīng)理：蔣鑫;