參數CNC-4030AX/Y軸行程400MM*300MMZ軸行程有效空間330mm,調焦行程180mm,工作距離320mm(Z軸加高到320mm)金屬臺面尺寸550MM*450MM玻璃臺面尺寸430MM*330MM傳動型式傳動型:X/Y/Z軸中國臺灣進口精密線性導軌和中國臺灣進口研磨級滾珠螺桿 測量伺服驅動系統光學尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005MM(0.5UM)測量精度:≤2.5UM+L/200 重復精度:≤2.5UM+L/250X/Y/Z三軸中國臺灣進口高性能伺服電機,雙重閉環控制系統 影像系統 攝像機:日本彩色1/3″CCD 攝像機放大倍率30-230X連續變倍鏡頭:NAV高清變倍鏡頭//連續放大倍率0.7-4.5X 光源系統表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調 儀器外形尺寸(L*W*H)1100MM*750MM*1750MM 儀器重量(KG)600KG