光電子—德國蔡司公司2008年推出了具有劃時代意義的掃描電鏡 (SEM)-拉曼光譜聯合平臺系統，能夠將樣品的微觀形貌、元素分析與分子結構、理化性質、結晶度及晶體缺陷信息相結合，為科研人員提供了一個全新的多維度分析平臺。該平臺可配置Witec、Renishaw、Horiba等多家品牌拉曼光譜，為您提供個性化應用選擇。

系統構成：

        掃描電子顯微鏡：是利用細聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過電子與樣品相互作用產生二次電子、背散射電子、X射線等，對樣品表面或斷口形貌進行觀察和分析的一種檢測手段。借助附件能譜儀EDS或者波譜儀WDS可以獲得分析區域的元素種類及其含量的定性信息。增加背散射電子衍射EBSD附件還可以獲取晶體學取向信息。但是掃描電鏡很難表征物質的化學結構。

       拉曼光譜：是一種散射光譜，通過測定材料的分子鍵的振動頻率，可以獲得材料的化學與結構特點，例如官能團，對稱群，點陣缺陷等，以及材料的結晶度等詳細的信息。但是拉曼光譜往往借助光學顯微鏡用于觀察樣品及激光聚焦，受制于所用激光光源的波長（一般為紫外、可見光及近紅外波段），空間分辨率較低，對于一些結構復雜的樣品難以分辨其中的不同的物相與顆粒。

       掃描電鏡-拉曼光譜聯用可以對樣品進行微區原位分析，實現對樣品的系統性分析測試。鑒于可以從同一點采集掃描電鏡數據與拉曼光譜數據，能夠對樣品表面形貌和物質分子結構的關系進行快速直觀的表征。以SEM圖像為基礎，可以更準確地對樣品選擇測試區域進行快速、無損的物質成分分析，得到準確的樣品組成數據。

系統功能：

       ●從SEM獲得形貌和平均原子數信息

       ●從EDS分析獲得元素成分信息

       ●利用拉曼光譜獲得化學成分和物質鑒定

       ●利用拉曼光譜獲得物理結構（晶體的及力學數據）

應用：

       ●材料科學

       腐蝕研究、電子材料、高分子、復合材料

       ●地質學與礦物學

       寶石和礦物鑒別；液體包裹體；巖石截面上礦物和相的分布；相變；條件下礦物的反應

       ●半導體

       應力表征；純度；金屬摻雜；污物識別；超晶格結構；缺陷分析；異質結構；摻雜效果；顯微光致發光分析（PL）等

       ● 藥物和化妝品

       藥物片劑中化合物的分布；混和的均一性；批量篩分檢驗；API濃度；粉末的組成和純度；結晶度分析；污染物鑒別；組合化學；活體分析及皮膚縱深研究；涂層、藥物填料和賦形劑鑒別及多態性的研究

       ● 刑偵科學

       、、纖維、顏料的鑒定

       ●碳材料

       單壁碳納米管（SWCNTs）；碳納米管純度；碳納米管的電學性質；碳材料的sp2和sp3結構；類金剛石涂層（DLC）性質；碳材料缺陷/無序性分析；鉆石品質和原產地

應用案例：

       1、表征微米級別的*礦物中的PO4/SO4的比例及鑒別其中復雜的化合物成分明礬石和纖磷鈣鋁石

       2、實現鈾酰礦物類的顆粒水平的拉曼光譜分析

      3、通過研究大氣污染顆粒物的分子光譜及元素成分，來評估大氣污染程度并未后續的預防方案制定提供科學依據。

       4、研究含鈾顆粒的分子組成，在微米尺度原位研究含鈾顆粒的元素與分子組成，提供一種有用的核安全保障的分析檢測手段。

       5、鑒別制備的石墨烯樣品中單層區域與多層區域

       注：由譜圖的峰高和線寬可以區分單層、雙層和多層石墨烯。

       6、刑偵領域中微量物質分析

       7、阻燃劑顆粒檢測

   納米科技與納米制備技術的快速發展對在一臺設備中同時實現納米尺度原型、成像、改性及操作提出了強烈的需求。多種設備深度集成具有大量的優勢，尤其在樣品制備與分析都需要在原位條件下進行的情況下。其中，在掃描電鏡中集成能譜(EDS)、波譜(WDS)等可以實現分析功能的多樣化。而拉曼光譜在分子結構、理化性質、結晶度及晶體缺陷等方面強大的分析能力越來越得到了研究者的關注及深入研究。將拉曼光譜集成到SEM中，可以實現樣品的微觀形貌、元素、分子結構等多方面信息的原位表征測定，可以挖掘更深層次的信息，因此蔡司公司推出的這種掃描電鏡與拉曼光譜集成聯用平臺在廣泛的科學研究中的具有重要的意義。