SLM 266激光器 |
SLM 266系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器,應(yīng)用于深紫外領(lǐng)域,如晶圓表面檢測(cè)、光譜儀校準(zhǔn)和全息應(yīng)用。頻譜帶寬<80MHz,接近其理論的傅里葉極限。該激光器提供8-10ns的短脈沖,其衍射極限光束下M2<1.7,重復(fù)頻率1到15kHz。在波長(zhǎng)為266nm下平均功率高達(dá)500mW以上, 并且擁有超穩(wěn)定的脈沖痕跡和與傳統(tǒng)激光器相比的1.8m的相干長(zhǎng)度。由于CW模式的單頻種子源,連續(xù)的激光脈沖保持在同一相位,允許穩(wěn)定的干涉模式,所以可以應(yīng)用到直接曝光光刻上。另外500 mW的平均功率允許短的曝光時(shí)間,實(shí)現(xiàn)大的吞吐量。 特點(diǎn): ● 單縱模 ● TEM00光束 ● Q開(kāi)關(guān)全固態(tài)激光器 ● 波長(zhǎng)266 nm 應(yīng)用: ○ 晶圓表面檢測(cè) ○ 光譜儀校準(zhǔn) ○ 光刻 ○ 光致發(fā)光 ○ 全息成像 ○ 干涉測(cè)量 ○ 拉曼光譜 ○ 度量衡學(xué) 可選項(xiàng): ○ 圖形用戶界面 ○ Labview庫(kù)文件 ○ CDRH符合性快門 典型參數(shù)&光斑輪廓 激光頭尺寸: 系統(tǒng)尺寸: 電學(xué)參數(shù): |
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