SpecEl 橢偏儀
SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測量。
技術(shù)參數(shù)
波長范圍: | 380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
光學分辨率 | 4.0 nm FWHM |
測量精度 | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角 | 70° |
膜厚 | 單透明膜1-5000 nm |
光點尺寸 | 2 mm x 4 mm (標準) 或 200 μm x 400 μm (可選) |
采樣時間 | 3-15s (小) |
動態(tài)記錄 | 3 seconds |
膜層數(shù) | 至多32層 |
參考 | 不需要 |