MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
寬帶閥040（NW40）,050（NW50）,063（NW63）,075（NW80）
在以往的真空壓力控制中，隨著過程的多樣化，壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢，特別是在低真空（高壓）下壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一樣，隨著過程氣體的多樣化，變得更需要溫度。為了滿足您的要求而開發(fā)的是這個寬帶閥門。
寬壓力控制范圍：101.33kPa（大氣壓）～1
MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
壓力控制器AP-420
AP系列是電容計量器（壓力真空計）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應(yīng)/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式，確保半導(dǎo)體/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應(yīng)答、高再現(xiàn)性的真空壓力控制。也可以通過前面板進(jìn)行設(shè)定，操作性非常容易。另外，由于CE標(biāo)志、RoHS對應(yīng)產(chǎn)品，被世界上所有產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)設(shè)備所使用
壓力控制器AP-100R
Model AP-100R將制造裝置中的真空室進(jìn)行真空排氣時，通過改變閥門電導(dǎo)，作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。
GOOT太洋電機(jī)產(chǎn)業(yè)，HACHIKO八光電機(jī)制作所，YOKOGAWA橫河電機(jī)，WATANABE渡邊電機(jī)工業(yè)，TOGAMI戶上電機(jī)制作所，KASUGA春日電機(jī)株式會社，OTOWADENKI音羽電機(jī)工業(yè)株式會社，AICHIDNK新愛知電機(jī)制作所，OKAYAELEC岡谷電機(jī)產(chǎn)業(yè)株式會社，TOSHIBA東芝產(chǎn)業(yè)機(jī)器システム株式會社，
NIKKO日幸電機(jī)制作所，FUKUDADENKI福田電機(jī)制作所，KYOEIDENKI協(xié)榮電機(jī)，NIHONDENKISANGYO日本電機(jī)產(chǎn)業(yè)，SATORI佐鳥電機(jī)，SHINOHARA篠原電機(jī)，TSURUTA鶴田電機(jī)，NUNOME布目電機(jī)，FUJIELECTRIC富士電機(jī)機(jī)器制御，FUJIDK不二電機(jī)工業(yè)，**電機(jī)，MIZUDEN水谷電機(jī)工業(yè)，WATANABE渡邊電機(jī)工業(yè)，OJIDEN大阪自動電機(jī)株式會社，YAMAMOTO山本電機(jī)株式會社，KAMIUCHI（株）神內(nèi)電機(jī)制作所，SANEIKOSYO三栄工業(yè)（株），MITSUBOSHI三ツ星ベルト,EXTION中國臺灣大內(nèi),TERAUCHI株式會社寺內(nèi)製作所
NPASYSTEMエヌピーエーシステム株式會社,BELLPONYベルポニー株式會社,MURAIKIKIムライ機(jī)器株式會社,URAS TECHNOユーラステクノ株式會社,KIKOH技研株式會社,MAXPULLマックスプル工業(yè)株式會社,KYUSHU HASEC九州ハセック,NIPPON GEAR日本ギア工業(yè),NSSK日本スタンドサービス,東京變速機(jī),KAMUI神威產(chǎn)業(yè),KOGI虹技株式會社，NAKASEIKI仲精機(jī)株式會社,SICマーキング社刻印機(jī)
