作為KOFLOC全新設計的數字式質量流量控制器，DF200C采用全新傳感器3000系列比例閥，已經新的PID算法，從而在控制精度、響應速度大大得到了提升，通訊方面DF200采用RJ45接口，使用普通網線既可串聯99臺DF200C，大大節省了布線的工作，上市以來得到各個行業客戶的認可
精度1%RD
響應速度1秒以內 全量程
可修改滿量程
可修改氣體種類
RJ45接口 更加快捷方便
DF200C系列質量流量控制器-數字式 | |
量程(N2) | 3SCCM-10SLPM(FS) |
氣體 | 非腐蝕氣體；腐蝕氣體單獨說明 |
精度 | ±1.0%SP(＞35%FS)、 ±0.35%FS(≤35%FS) |
重復性 | ±0.25%FS |
有效范圍 | 2- |
響應時間 | 1秒以內 |
耐壓 | 1.0Mpa |
進口大壓力 | 0.5Mpa |
工作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 |
溫度范圍 | 5~50℃ |
精度保證溫度 | 15~35℃ |
保存溫度 | -10~60℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
材質 | 本體SUS316、SUS316L |
密封圈VITON，選配NBR或FKM | |
電氣接口 | DB9 |
通訊接口 | RJ45 |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +24VDC(±10%)300mA；±15VDC(±10%)300mA |
管路連接 | 標配1/4F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | |
重量 | 約850g |
