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  • 伯東代理KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列

伯東代理KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列

參考價
300000-600000
具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地國外
  • 更新時間2025-04-02
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量200
  • 人氣值4192
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位于中國上海浦東外高橋保稅區的伯東企業(上海)有限公司創建于1995年12月,, 是日本伯東株式會社獨資設立的外商投資企業,公司注冊資金為200萬美元,到目前為止公司從業員工有400多人。
伯東企業(上海)有限公司真空產品事業部()專業銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);檢漏儀,質譜儀,真空系統等等, 維修技術力量雄厚,保證 100 % 擁有標準的德國Pfeiffer原廠測試設備及調整工具和德國Pfeiffer專業培訓工程師,多年來致力于真空系統的安裝、調試、維修、拆機、保養等,具有優良的專業技能和服務意識,并獲得原廠*維修資質證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設備對維修后的產品做*性能測試。另外公司還代理美國Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,HVA 高真空閥門。公司一直堅持品質*、信譽*的原則,為廣大客戶提供了高品質的產品以及良好的售后服務。到目前為止已先后通過了美國UL安全認證、ISO9001-2000質量體系認證、ISO14001-1996環境體系認證。公司將在今后的發展中秉承以人為本,不斷開拓進取的精神,為滿足客戶的需求努力向專業化、優質化、集團化發展。

為將國外的高科技產品與中國經濟和社會的飛速發展緊密結合,為促進國內.貿易的快速發展,伯東企業(上海)有限公司,以高科技推動現代化,以高質量服務全中國, 堅持不懈,奮斗不息。伯東公司是一家專業代理公司,代理上公司的 半導體設備.接插件.電子器件.精密儀器等,公司秉承 改革.創新.求真.發展的基本原則, 精心構建誠信、互動、共贏的價值體系, 為所有的客戶提供優質的產品, 同時,提供全伯東集團網絡支持下的較早.Z快的信息與Z及時周到的服務,伯東公司愿意與世界各地的客戶聯手合作,共建一個誠信.發展.共同進步的良好環境.

 

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產地進口 加工定制
上海伯東KRI 霍爾離子源 eH 系列緊湊設計, 高電流低能量寬束型離子源, 提供原子等級的細微加工能力, 霍爾離子源 eH 可以有效地以納米精度來處理薄膜及表面, 多種型號滿足科研及工業, 半導體應用. 霍爾離子源高電流提高鍍膜沉積速率, 低能量減少離子轟擊損傷表面, 寬束設計有效提高吞吐量和覆蓋沉積區.
伯東代理KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列 產品詳情

價格電議

美國 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列

美國 KRI

霍爾離子源 eH 系列緊湊設計, 高電流低能量寬束型離子源, 提供原子等級的細微加工能力, 霍爾離子源 eH 可以有效地以納米精度來處理薄膜及表面, 多種型號滿足科研及工業, 半導體應用. 霍爾離子源高電流提高鍍膜沉積速率, 低能量減少離子轟擊損傷表面, 寬束設計有效提高吞吐量和覆蓋沉積區. 整體易操作, 易維護. 霍爾離子源 eH 提供一套完整的方案包含離子源, 電子中和器, 電源供應器, 流量控制器 MFC 等等可以直接整合在各類真空設備中, 例如鍍膜機, load lock, 濺射系統, 卷繞鍍膜機等.
霍爾離子源

美國 KRI 霍爾離子源 eH 特性

無柵ji

高電流低能量

發散光束 >45

可快速更換陽極模塊

可選 Cathode / Neutralize 中和器



美國 KRI 霍爾離子源 eH 主要應用

輔助鍍膜 IBAD

濺鍍&蒸鍍 PC

表面改性、激活 SM

沉積 (DD)

離子蝕刻 LIBE

光學鍍膜

Biased target ion beam sputter deposition (BTIBSD)

Ion Beam Modification of Material Properties (IBM)

例如

1. 離子輔助鍍膜及電子槍蒸鍍

2. 線上式磁控濺射及蒸鍍設備預清洗

3. 表面處理

4. 表面硬化層鍍膜

5. 磁控濺射輔助鍍膜

7. 偏壓離子束磁控濺射鍍膜

美國 KRI 霍爾離子源 Gridless eH

霍爾離子源 eH 系列在售型號:

型號

eH200(停產)

eH400

eH400LE


eH1000
eH1000LE
eH1000LO

eH1000xO2

eH2000
eH2000LE
eH2000HO

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

Cathode/Neutralizer

F or HC

F or HC

F or HC

F or HC

F or HC

HC

HC

HC

電壓

30-300V

50-300V

30-150V

50-300V

30-150V

50-300V

100-300V

50-300V

30-150V

50-250V

50-250V

50-300V

50-250V

電流

2A

5A

10A

10A

12A

5A

10A

10A

15A

15A

20A

10A

15A

散射角度

>45

>45

>45

>45

>45

>45

氣體流量

1-15sccm

2-25sccm

2-50sccm

2-50sccm

2-75sccm

5-100sccm

高度

2.0“

3.0“

4.0“

4.0“

4.0“

6.0“

直徑

2.5“

3.7“

5.7“

5.7“

5.7“

9.7“

水冷

可選

可選

可選

可選

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
霍爾離子源 Gridless 提供高電流低能量 end-Hall 系列產品, 包含寬束霍爾離子源和電源控制器, 整體設計, 易于系統集成, 霍爾離子源典型應用: 輔助鍍膜 IABD, 鍍膜預清潔 ISSP, 離子蝕刻等

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產

考夫曼離子源 Gridded 和霍爾離子源 Gridless. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射沉積 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源 (離子槍) 中國總代理.

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               中國臺灣伯東 : 王小姐



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