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脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質譜檢漏儀

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位于中國上海浦東外高橋保稅區的伯東企業(上海)有限公司創建于1995年12月,, 是日本伯東株式會社獨資設立的外商投資企業,公司注冊資金為200萬美元,到目前為止公司從業員工有400多人。
伯東企業(上海)有限公司真空產品事業部()專業銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);檢漏儀,質譜儀,真空系統等等, 維修技術力量雄厚,保證 100 % 擁有標準的德國Pfeiffer原廠測試設備及調整工具和德國Pfeiffer專業培訓工程師,多年來致力于真空系統的安裝、調試、維修、拆機、保養等,具有優良的專業技能和服務意識,并獲得原廠*維修資質證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設備對維修后的產品做*性能測試。另外公司還代理美國Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,HVA 高真空閥門。公司一直堅持品質*、信譽*的原則,為廣大客戶提供了高品質的產品以及良好的售后服務。到目前為止已先后通過了美國UL安全認證、ISO9001-2000質量體系認證、ISO14001-1996環境體系認證。公司將在今后的發展中秉承以人為本,不斷開拓進取的精神,為滿足客戶的需求努力向專業化、優質化、集團化發展。

為將國外的高科技產品與中國經濟和社會的飛速發展緊密結合,為促進國內.貿易的快速發展,伯東企業(上海)有限公司,以高科技推動現代化,以高質量服務全中國, 堅持不懈,奮斗不息。伯東公司是一家專業代理公司,代理上公司的 半導體設備.接插件.電子器件.精密儀器等,公司秉承 改革.創新.求真.發展的基本原則, 精心構建誠信、互動、共贏的價值體系, 為所有的客戶提供優質的產品, 同時,提供全伯東集團網絡支持下的較早.Z快的信息與Z及時周到的服務,伯東公司愿意與世界各地的客戶聯手合作,共建一個誠信.發展.共同進步的良好環境.

 

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產地進口 加工定制
PLD 系統需要高真空環境, 腔室是否有泄露, 是否有內部材料放氣等因素對實現高真空及超高真空很關鍵. 因此需要對整個系統進行泄漏檢測. 氦質譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 因此廣泛應用于 PLD 設備檢漏.上海伯東某客戶 PLD 設備用來制備各種材料, 為了保證產品質量, 采購氦質譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質譜檢漏儀
脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質譜檢漏儀 產品詳情

價格電議
氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

脈沖激光沉積系統 PLD
脈沖激光沉積系統 Pulsed laser deposition 是制備高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多層異質結構和超晶格結構的物理氣相沉積設備, 通常需要保證本底真空度達到 10-8mbar, 同時高真空環境對系統配置的 RHEED 及溫控系統等關鍵設備的壽命也至關重要.

脈沖激光沉積系統 PLD 需要檢漏原因
PLD 系統需要高真空環境, 腔室是否有泄露, 是否有內部材料放氣等因素對實現高真空及超高真空很關鍵. 因此需要對整個系統進行泄漏檢測. 氦質譜檢漏儀利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 因此廣泛應用于 PLD 設備檢漏.

脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏客戶案例: 上海伯東某客戶 PLD 設備用來制備各種材料, 為了保證產品質量, 采購氦質譜檢漏儀 ASM 340 搭配使用.

生長多層膜(TiN/ALN)結構, 各層膜厚度可調

高通量制備具有不同材料成分的100種材料

PLD 制備的 Ag 的納米多孔材料

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏

氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏


脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏方法
采用真空模式檢漏, 通過波紋管連接需要檢漏的腔體, 設定好需要的漏率值
在懷疑有漏的地方噴氦氣(一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處),如果有漏,檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.
氦質譜檢漏儀脈沖激光沉積系統 PLD 檢漏
上海伯東* Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340 三種類型可選

型號

ASM 340 WET

ASM 340 D

ASM 340 I

對氦氣的小檢測漏率, 真空模式

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸模式

真空模式和吸模式

真空模式和吸模式

檢測氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

對氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進氣口大壓力 hPa

25

25

5

前級泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級泵

重量 kg

56

45

32

脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質譜檢漏儀
脈沖激光沉積 PLD 檢漏氦質譜檢漏儀
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