MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器
美國艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美國成立，是杰出的質量流量和壓力解決方案廠商，隸屬于英國豪邁(Halma)集團環(huán)境與分析事業(yè)部，榮膺“年度子公司獎”、“業(yè)務拓展增長獎”和“豪邁創(chuàng)新獎”。
Alicat產品采用層流差壓式原理，擁有LFE技術，憑借航天級水準，長期支持美國航天局(NASA)、SpaceX火箭項目，并為科研及工業(yè)領域提供快捷、穩(wěn)定的技術解決方案。
產品類型：氣體或液體質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
客戶行業(yè)：實驗科研、環(huán)境保護、生物醫(yī)藥、過程控制、能源化工、半導體以及相關的公共事業(yè)。
應用領域：計量檢測、泄漏測試、生物發(fā)酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。
簡單升級老化的熱式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質量流量控制器是真空設備。MCE系列產品的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準MFC實現(xiàn)端對端的匹配連接。
MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現(xiàn)污染情況。
- 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
- 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網絡中。
- 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。
反應濺射氣體流量控制
以50ms控制響應速度精確控制真空室內反應氣體的分壓以避免靶件噴涂過度，良好的分辨率保證了適當?shù)脑俞尫牛瑲鈩咏刂归y確保無流量時的正向切斷。
升級您老舊的熱式質量流量控制器只是我們艾里卡特簡化真空鍍膜所用的一種方式。
更多產品信息請查看質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
性能
- 可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
- 可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
- 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 可重復性：0.2%滿量程
- 標準控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調節(jié)功能，可縮短至25ms）
- 氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）
- 無需預熱時間
工作條件
- 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
- 工作溫度：-10°C至+60°C
- 大內部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
- 耐受壓力：175 psig（190 psia）
- STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
- MCE或MCV系列包裝清單：
- MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
- NIST可溯源校準證書
- 艾里卡特操作說明書
配件（需另行訂購）
- 過程端口接頭和過濾器
- 電源
- 通訊線纜和轉換線纜
- BB3和BB9多點式集線盒
- Flow Vision軟件
型號變體
- 閥門內置（確保與SEMI端口長度*）型號（MCE系列）
- 閥門內置并加裝氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
- 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）
另有：
- 閥門安裝在外部的標準配置型號(MC系列)
閥門選項
您可以為您的質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。
- MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
- MCV系列—選配內部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動截止閥
- 腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）
MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。
結構選項
- 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
- 顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
- 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
- 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）
性能選項
- 流量累加器
- 集成式電位計控制
- 高精度或自定義校準
