PlasCalc系列等離子體監控系統
可在僅3ms內測量200～1100nm波長范圍內的等離子體的發射。PlasCals測量系統為數據的獲取提供過程控制和精密的數據運算。
1.0nm（FWHM）光學解析度
200～1100nm波長范圍
快速建立和保存實驗方法
可在僅3ms內測量200～1100nm波長范圍內的等離子體的發射。PlasCals測量系統為數據的獲取提供過程控制和精密的數據運算。PlasCalc系列等離子體監控系統
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編輯工具PlasCalc系列等離子體監控系統
編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數復雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設置：例如測量薄膜沉積情況、監測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監測反常的污染和排放現象等。
用于簡單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc等離子體監控系統配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數學和算能。我們同時提供一個可選配的放射波長數據庫，可以另外單獨購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優化。操作界面包含兩個窗口，可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。
SPECIFICATIONS
Spectral range: | 200-1100 nm |
Optical resolution: | 1.0 nm (FWHM) |
D/A converter: | 14 bit |
Digital Input/Output: | 8 x TTL |
Analog Output: | 4 x [0-10V] |
Interface: | USB 1.1 |
Power consumption: | 12 VDC @ 1.25 A |
Power requirements: | 90-240 VAC 50/60 Hz |
Dimensions: | 257 mm x 152 mm x 263 mm |
Weight: | 5 kg |
