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  • IC6 薄膜沉積控制器 流量控制器

IC6 薄膜沉積控制器 流量控制器

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2022-10-17
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區深圳市
  • 產品數量161
  • 人氣值5817
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深圳市利方達科技有限公司是美國Dwyer公司*一級代理商,負責Dwyer儀器儀表在中國的銷售。

Dwyer 

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產地國產 加工定制
IC6 薄膜沉積控制器
INFICON ModeLock 技術確保獲得、較穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
支持多六個來源同時共沉積
IC6 薄膜沉積控制器 流量控制器 產品詳情

產品介紹

功能IC6 薄膜沉積控制器

 

  • INFICON ModeLock 技術確保獲得、穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
  • Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
  • 支持多六個來源同時共沉積
  • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
  • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
  • USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
  • 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統(使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個邏輯語句)
  • 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控
  • 可容納多 50 個過程,每個過程 200 層,這些過程關聯到一起,總共可容納 10,000 層。
  • 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
  • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
  • 可選以太網通信
  • 符合 RoHS 標準

典型應用IC6 薄膜沉積控制器

 

  • 光學鍍膜

 

規格

類型IC6
測量性能 
分辨率 (1) 0.00433 Å/s/M
大晶體頻率偏移 1.5 MHz
晶體范圍和精確性(來自 100-ms 樣品) 6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz
厚度精度 (2) 0.5%
測量頻率 10 Hz
多個測量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設計功能 
Auto Z yes
自動色調 yes
共沉積 yes (up to 6 sources)
過程配方和數據管理 
材料計劃 32
過程層(每個過程) 200
過程 50 (processes can be linked together)
USB 存儲器 yes
數據記錄 yes
硬件功能 
傳感器 (3)  
 8
雙 / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
   
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