真空等離子清洗機產生的輝光放電特點

以陰極位降所表征的氣體中電位分布，這一電位分布是由于空間電荷的影響，輝光放電區別于電弧放電是具有大的陰極位降，以及本身輻射引起的光電離等。被輝光覆蓋著的并參加放電現象的陰極表面正比于管內電流強度，當電流減小或增加時，電流密度保持不變，并且陰極位降也保持不變，這時的放電稱為正常輝光放電。

當電流增加到全部陰極表面被輝光覆蓋時，陰極位降隨電流強度及電流密度的增加前開始加大，這時進入反常輝光放電。正常輝光放電的陰極位降與氣壓無關，而決定于陰極材料及氣體性質。

輝光放電的放電空間有特殊的光區分布，總的來說分為兩大部分：*部分是放電的陰極部分，包括阿斯頓暗區、陰極輝區、陰極暗區、負輝區及法拉第暗區。前三個區稱為陰極位降區，這一部分的電壓降占管壓降的大部分，為維持放電所必需的過程都集中在這里；第二部分稱為陽極部分，包括正柱區、陽極暗區和陽極輝區。其中陰極部分并不具備等離子體的特征, 從正柱區一直到放電的陽極其他部分都是處于等離子體狀態

真空等離子清洗機產生的輝光放電特點

在正常輝光放電的陰極區，正的凈離子數密度是常數。當進入反常輝光區時，電流密度的增加引起電場的畸變陰極位降進一步提高，陰極位降區功率損耗越來越大，使陰極上發生濺射。陰極濺射是輝光放電陰極上一個特殊過程，如陰極濺射可以清除陰極表面不同性質的附著層，可以獲得金屬膜附著在金屬、玻璃、陶瓷、云母等材料上面。