13000系列真空層流真空閘閥
13000系列層流閘閥真空閘閥以一個層流端口嘴為特征, 這樣可以有效的從氣流中密封閥動裝構. 為了額外的保護,在閥體上部和下部都有安裝凈化清洗流道以使惰性氣體流入來防止工業廢氣進入這些地方. 另一個特點是有一個正面的關閉裝置使這個真空閥門真空閘閥可以保持密封的完整性, 甚至在遇到動力隨著壓力下降而損失的時候.
兩個分開的支架可以實現電導（全開）或者0%電導（全關）. 在打開的位置,一個流孔從流動路程和所有內部部件是隔離開的。這個孔口提供了一個通過發力的清潔的連續的流動路程并且減少了和任何一個閥體裝置的工業廢氣接觸. 關閉位置使用一個傳統的密封膠圈以產生1x10E-9Torr的真空密封. 線性驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器并且減少旋轉密封圈的必要性。*的氣缸設計使沖擊和振動減少到小. 此設計非常有益于半導體制造和其他敏感加工工業要求操作時相對自由振動的.
這個HVA 不銹鋼閥門真空閘閥提供了的業界小的接口. 閥體和所有主要內部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空爐中焊接的, 確保了大的完整性. 這就減少在傳統的焊接波紋管閥門里發現的虛漏和缺陷了. 在保養方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閘閥從整個系統中拆卸出來。
13000系列層流真空閘閥產品特點
1. 氣動驅動
2. 不銹鋼焊接波紋管
3. 標準或者定制法蘭
4. 電磁閥控制并帶有手動超控
13000系列層流真空閘閥產品規格
連接形式： | 標準或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN40-DN300 mm |
漏率: | 2x10E-10 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《200℃ |
適用介質： | 水、蒸汽、空氣、高腐蝕氣體 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅動方式： | 氣動 |
使用壽命: | 視系統而定 |
13000系列層流真空閘閥產品應用
層流閘閥真空閘閥可以用在蝕刻,化學蒸汽沉積等其他要用高腐蝕氣體,可能損壞其他閥門的加工中。標準真空閥門真空閘閥不可能承受不斷的工業廢氣侵入. 廣泛的半導體應用已經證明這些高真空閥門真空閘閥是過程工藝系統的一筆寶貴財富.
13000系列層流真空閘閥產品部件圖
