單門不銹鋼潔凈儲(chǔ)物柜全不銹鋼結(jié)構(gòu)提供晶圓臨時(shí)存放倉(cāng)庫(kù)，用于物體的潔凈保存
單門不銹鋼潔凈儲(chǔ)物柜FFU有初、高效兩級(jí)過(guò)濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部（或側(cè)面）將空氣吸入并經(jīng)初高效過(guò)濾器過(guò)濾，過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的均勻風(fēng)速送入柜內(nèi)，經(jīng)過(guò)保存物體后回到車間。FFU為模塊化安裝，便以維護(hù)。可集中控制。外殼用304雙鏡面不銹鋼。
風(fēng) 量：1200m3/h
風(fēng) 速:0.45m/s,+-20%
潔凈度: Class 10及Class 100 (*符合美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)
HEPA效率:99.99995%,0.12um
噪 音：:測(cè)試點(diǎn)距離下0.3mm, 風(fēng)速0.45 m/s.﹤52db
高效過(guò)濾器:美國(guó)
風(fēng) 機(jī):德國(guó)或日本
工作環(huán)境:百級(jí)或以上潔凈車間
高效過(guò)濾器壓差顯示,可提示過(guò)濾器受堵情況.
選用的是直流FFU, 噪音低, 振動(dòng)小,耗電省,
柜體采用SUS304雙鏡面1.2mm不銹鋼制作, 柜門采用SU304雙鏡面1.5mm不銹鋼制作. 并采用局部補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，層板高度支承條，使層板方便可調(diào)。
柜體門鎖：外置式磁吸式把手鎖
4個(gè)防靜電腳輪
4個(gè)調(diào)整腳
FFU有一個(gè)集中控制盒, 用于對(duì)儲(chǔ)物柜的集中控制高效過(guò)濾器壓差表 美國(guó)風(fēng)機(jī)無(wú)級(jí)調(diào)速
1.提供100級(jí)（ISO5）130級(jí)（ISO4）潔凈環(huán)境。
2.單元獨(dú)立控制，節(jié)省存儲(chǔ)能源。
3.*先出操作指示，保證產(chǎn)品質(zhì)量
