PlasCalc等離子體監測控制儀實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量，通過高級過程控制系統及精密數據存取算法，只需3s就可以獲得測量結果。
Recipe編輯器
Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監測、表面潔度監測、等離子體室控制及異常污染、排放監測等，能夠快速簡單的構建模塊過程控制。
多種工具用于等離子體診斷
隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算能。可選的波長發生器（可以單獨購買）用于類型確認，而波長編輯器可以用于優化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。
PlasCalc等離子體監測控制儀技術參數
光譜范圍 | 200-1100 nm |
光學分辨率 | 1.0 nm (FWHM) |
D/A 轉換 | 14 bit |
數字I/O | 8 x TTL |
模擬輸出 | 4 x [0-10V] |
接口 | USB 1.1 |
功耗 | 12 VDC @ 1.25 A |
電源 | 90-240 VAC 50/60 Hz |
尺寸 | 257 mm x 152 mm x 263 mm |
重量 | 5 kg |
特點
- 光學分辨率1.0nm(FWHM)
- 光譜范圍 200-1100nm
- 快速的建模及存儲實驗方法
