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旋片式真空抽氣系統性能優點：

采用兩臺真空主機同時啟動，快速達到設定真空數值后自動切換為單臺使用，根據用戶時間設定值每間隔一定時間后兩臺真空主機之間可以自動切換使用，延長真空系統使用壽命，并便于日后對真空系統的保養維修。整機采用全封閉式噴塑結構，配套有自動散熱系統，防止空氣中的油霧及粉塵造成對真空系統的侵蝕。

真空系統的工作原理
啟動系統主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，*真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環往復，真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿足生產的要求。

真空系統應用：
是以旋片真空泵作為真空獲得設備，以真空罐作為真空存儲設備的全自動真空度控制成套系統。對于頻繁使用真空源而所需抽氣量不太大的場合下，該系統比直接使用真空泵大大節約了能源，并有效提高了真空泵的使用壽命。目前這種泵已普遍應用于各類食品的真空包裝、橡膠和塑料工業的真空吸塑成型、印刷工業的紙張輸送、各類鑄件的真空浸漬防漏、真空夾具、真空干燥、真空過濾、真空動力試驗以及醫院手術室的真空吸引等在本型泵所能達到的真空范圍內的各種真空處理。

幾種常見的超高真空系統
1.擴散泵串聯機械泵串聯冷阱系統
2.渦輪分子泵串聯機械泵的真空系統
3.濺射離子泵無油超高真空系統
4.低溫泵無油超高真空系統
5.組合超高真空系統

降低真空系統漏氣率的措施：
1.真空系統的結構
真空系統的結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵，真空系統的結構合理與否，將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率。
（1）盡可能地避免出現小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
（2）抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。
（3）認真設計真空室內各種連接件的結構，使氣路暢通，避免氣路堵塞。
（4）打磨拋光真空系統內表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。
（5）盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統。
2.密封形式的選擇
密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。
密封件材質的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度高可達2300℃，密封部位進行水冷后，其溫度在80℃左右，個別處溫度可達100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。
3.靜密封結構的選擇
各種真空系統中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，要對靜密封結構進行認真設計，以達到理想的效果。
對靜密封結構的設計，主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發揮橡膠密封圈功能。
無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽，其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面，而其側面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時，為了消除殘留氣體，在存在殘留氣體處設計了貫通孔，使系統內部各處暢通無阻。

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