壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源-E00系列用來(lái)驅(qū)動(dòng)控制壓電陶瓷以及納米定位臺(tái)等產(chǎn)品的儀器，根據(jù)結(jié)構(gòu)形式主要分為模塊化式、集成式、工業(yè)式、板卡式控制器產(chǎn)品。模擬、數(shù)字、鍵盤(pán)、I/O等多種控制方式。開(kāi)環(huán)、閉環(huán)、單路、多路多種型號(hào)可選。可驅(qū)動(dòng)芯明天及進(jìn)口各類壓電產(chǎn)品。
功率放大模塊
主要功能是將微弱的外部模擬輸入信 號(hào)或計(jì)算機(jī)通過(guò)DA給出的模擬信號(hào)或其 它的控制信號(hào)，通過(guò)功率放大模塊內(nèi)部的 電壓與功率放大電路將信號(hào)放大。
E03功率放大模塊
| 通道數(shù) | 型號(hào) | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 |
| 1~3 | E03.00.1 |
0~+10V | 0~+100V |
1kHz | 70mA | 210mA |
5mV |
| E03.00.2 | 0~+120V | 58mA | 174mA | ||||
| 1~2(3 通道恒壓 ) | E03.00.3 | 0~+120V | 58mA | 174mA | |||
|
1~3 | E03.00.4 | 0~+150V | 46mA | 138mA | |||
| E03.00.5 | 0~+200V | 35mA | 105mA | ||||
| E03.00.6 | 0~+300V | 23mA | 70mA | ||||
| E03.00.7 | -10~+10V | -100~+100V | 35mA | 105mA | |||
| E03.00.8 | -150~+150V | 23mA | 69mA | ||||
| E03.00.9 |
0~+10V | 0~+100V |
10kHz | 70mA | 1000mA | ||
| E03.00.10 | 0~+120V | 58mA | 1000mA | ||||
| E03.00.11 | 0~+150V | 46mA | 1000mA | ||||
| E03.00.12 | 0~+100V |
30kHz | 70mA | 210mA | |||
| E03.00.13 | 0~+120V | 58mA | 174mA | ||||
| E03.00.14 | 0~+150V | 46mA | 138mA | ||||
| E03.00.15 | 0~+200V | 35mA | 105mA | ||||
| E03.00.16 | 0~+300V | 23mA | 69mA | ||||
| E03.00.17 | -10~+10V | -100~+100V | 35mA | 105mA | |||
| E03.00.18 | -150~+150V | 23mA | 69mA | ||||
| E03.05.1 | 0~+10V | 0~+100V | 50kHz | 70mA | 210mA | ||
| E03.05.2 | 0~+120V | 58mA | 174mA |
E05功率放大模塊
| 通道數(shù) | 型號(hào) | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 |
|
1 | E05.00.1 |
0~+10V | 0~+100V |
1kHz | 350mA | 1050mA |
5mV |
| E05.00.2 | 0~+120V | 291mA | 873mA | ||||
| E05.00.3 | 0~+150V | 233mA | 700mA | ||||
| E05.00.4 | 0~+200V | 175mA | 525mA | ||||
| E05.00.5 | 0~+300V | 116mA | 348mA | ||||
| E05.00.6 | 0~+400V | 87mA | 260mA |
10mV | |||
| E05.00.7 |
-10~+10V | -100~+100V |
5kHz | 175mA | 525mA | ||
| E05.00.8 | -150~+150V | 116mA | 348mA | ||||
| E05.00.9 | -200~+200V | 87mA | 260mA | ||||
| E05.00.10 | -300~+300V | 58mA | 174mA | ||||
| E05.00.11 |
0~+10V | 0~+200V | 175mA | 525mA | |||
| E05.00.12 | 0~+300V | 116mA | 348mA | ||||
| E05.00.13 | 0~+100V |
10kHz | 350mA | 1000mA |
5mV | ||
| E05.00.14 | 0~+120V | 291mA | 1000mA | ||||
| E05.00.15 | 0~+150V | 233mA | 1000mA | ||||
| E05.00.16 | 0~+200V | 175mA | 1000mA | ||||
| E05.00.17 | 0~+600V | 5kHz | 60mA | 175mA | 10mV | ||
| E05.03.1 | 0~+100V |
30kHz | 250mA | 750mA |
5mV | ||
| E05.03.2 | 0~+120V | 205mA | 615mA | ||||
| E05.03.3 | 0~+150V | 170mA | 510mA | ||||
| E05.03.4 | 0~+200V | 125mA | 375mA |
10mV | |||
| E05.03.5 | 0~+300V | 85mA | 255mA | ||||
| E05.03.6 | -10~+10V | -100~+100V | 125mA | 375mA | |||
| E05.03.7 | -150~+150V | 85mA | 255mA | ||||
| E05.05.1 |
0~+10V | 0~+100V | 50kHz | 250mA | 750mA | ||
| E05.05.2 | 0~+120V | 205mA | 615mA | ||||
| E05.05.3 | 0~+40V | 100kHz | 625mA | 1875mA | 20mV | ||
| E05.05.4 | 150kHz |
E06功率放大模塊
| 通道數(shù) | 型號(hào) | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 |
| 2 | E06.00.A2 | -10~+10V | -300~+300V | 1kHz | 5mA | 15mA | 20mV |
| 4 | E06.00.A4 |
E07功率放大模塊
| 通道數(shù) | 型號(hào) | 模擬輸入 | 輸出電壓 | 頻率 | 平均電流 | 峰值電流 | 紋波 |
|
1 | E07.00.1 |
0~+10V | 0~+600V |
3kHz | 8mA | 24mA |
20mV |
| E07.00.2 | 0~+900V | 5.5mA | 16mA | ||||
| E07.00.3 | 0~+1800V | 2.7mA | 8mA | ||||
| E07.00.4 | -10~+10V | -450~+450V | 5.5mA | 16mA | |||
| E07.00.5 | -900~+900V | 2.7mA | 8mA |
E09 PZT傳感控制模塊
E09系列PZT傳感控制模塊是給各類PZT或微 動(dòng)工作臺(tái)等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器提供高精準(zhǔn)、 高穩(wěn)定性和高可靠性的激勵(lì)信號(hào)，并檢測(cè)和處理 PZT或微動(dòng)工作臺(tái)等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器信 號(hào)，并將該傳感器信號(hào)通過(guò)內(nèi)部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個(gè)獨(dú)立的設(shè) 備，需集成在E00/E01機(jī)箱內(nèi)工作。
| 型號(hào) | E09.S1 | E09.S3 | E09.L1 | E09.L3 | E09.C1 |
| 功能 | PZT 傳感控制模塊 | ||||
| 通道數(shù) | 1 | 3 | 1 | 3 | 1 |
| 傳感器類型 | SGS | SGS |
|
| CAP |
| 伺服特性 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 | 模擬 P-I+ 陷波濾波 |
| 傳感器接口 | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.304.CLL | ERA.0S.116.CLL |
| 傳感器輸出接口 | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC | ERA.05.303.CLL | BNC |
| 電壓輸出范圍（V） | 0 至 10 | ||||
| 工作溫度范圍（℃） | 0 至 50 | ||||
E17/E18顯示與通信模塊
E17/E18系列為液晶顯示與計(jì)算機(jī)通信模塊，具有測(cè) 量和顯示功率放大模塊輸出電壓和PZT傳感器控制模塊的 當(dāng)前位移值、計(jì)算機(jī)接口接收和處理來(lái)自計(jì)算機(jī)的控制命 令、鍵盤(pán)、液晶和軟件進(jìn)行人機(jī)交互操作數(shù)字閉環(huán)控制等 功能。E17/E18顯示與接口模塊不是一個(gè)獨(dú)立的設(shè)備，需 集成在E00/E01機(jī)箱內(nèi)工作。
| 型號(hào) | E17.i1 | E17.i3 | E18.i1 | E18.i3 | |
| 功能 | 顯示與接口模塊 | ||||
| 通道數(shù) | 1 | 3 | 1 | 3 | |
| 處理器 | 8 位單片機(jī) 16MHz | 32位 單片機(jī) 168MHz | |||
| 線性度 | 0.01% | ||||
| D/A 轉(zhuǎn)換器 | 16 Bit ±10V | 24 Bit ±10V | 16 Bit ±10V | 24 Bit ±10V | |
| 輸出分辨率 | 滿量程 1/30000 | 滿量程 1/100000 | 滿量程 1/30000 | 滿量程 1/100000 | |
| A/D 轉(zhuǎn)換器 | 16 Bit ±10V | ||||
| 薄膜鍵盤(pán) | 15 按鍵 | ||||
| 計(jì)算機(jī)接口 | RS-232、USB | RS-232/422、USB | |||
| 輸出波形頻率（Hz） | 1k | 10k | |||
| LCD 液晶屏 | 漢字顯示 | ||||
| I/O 口 | 1 ~ 3 個(gè)用戶可設(shè)置為輸入或輸出方式，MDR14 連接器 | ||||
| 液晶鍵盤(pán)控制功能 | 輸出與測(cè)量電壓和位移、自發(fā)波形、選擇功能、設(shè)定參數(shù) | ||||
| 液晶鍵盤(pán)自發(fā)波形 | 正弦波、方波、三角波、鋸齒波 | ||||
| 上位機(jī)軟件控制功能 | 輸出與測(cè)量電壓和位移、波形控制、選擇功能、設(shè)定參數(shù) | ||||
| 上位機(jī)軟件波形控制 | 可編程波形輸出，標(biāo)準(zhǔn)波形輸出 | ||||
| 二次開(kāi)發(fā) | VC++、Matlab、LabView 使用例程和 DLL 動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)函數(shù)等，方便二次開(kāi)發(fā) | ||||
| 工作溫度范圍（℃） | 0 至 50
| ||||
特性：
模塊化組合
• 功率放大模塊
• 伺服傳感模塊
• 顯示與通信模塊
• 機(jī)箱供電模塊
• 自由組合
多種電壓可選
0-120V，0-150V，0-300V
0-600V，0-900V，0-1800V
±120V、±150V，±300V
±450V，±900V
多通道輸出
模塊化組拼，多可組成 百通道控制器
壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源-E00系列技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)表 | ||||
| 型號(hào) | E00 | E01 | ||
| 驅(qū)動(dòng)模塊 | ||||
| 僅擴(kuò)展驅(qū)動(dòng)模塊 | 1~18 通道 | 1~9 通道 | ||
| 輸入模擬信號(hào) | 單極性 0~+10V或 0~+5V, 雙極性 -10~+10V或 -5~+5V | |||
| 可選輸出電壓 | 100V/150V/200V/300V/±150V | ±200/±300V/600V | 900V/1800V/±900V | |
| 輸出電壓紋波 | ≤ 5mV | ≤ 10mV | ≤ 20mV | |
| 電壓穩(wěn)定性 | ＜ 0.1%F.S.（滿量程）/8hours | |||
| 模擬輸入阻抗 | 100KΩ±20% | |||
| 空載滿幅值帶寬 | 可選擇 1K、10K、30K、50KHz | |||
| 驅(qū)動(dòng)模塊通道數(shù) | 1~3 路 | |||
| 單通道平均功率 | 7W ~ 35W | |||
| 單通道峰值功率 | 20W ~ 110W | |||
| 平均電流 | 40mA ~ 350mA | |||
| 峰值電流 | 100mA ~ 11A | |||
| 小信號(hào)帶寬 | 5kHz ~200kHz | |||
| 大信號(hào)帶寬 | 1kHz ~ 50kHz | |||
| 電壓增益 | 10 ~ 180倍 | |||
| 調(diào)節(jié)旋鈕 | 10 圈 | |||
| 傳感模塊 | ||||
| 傳感器模式 | 電阻式 SGS、 電感式 、 電容式 CAP | |||
| 傳感通道數(shù) | 1 ~ 3 路 | |||
| 傳感器接口 | 4 芯 LEMO 連接器（傳感器輸入） | |||
| 傳感器輸出接口 | 單路 BNC 連接器、三路 LEMO 連接器 | |||
| 傳感器輸出電壓 | 單極性電源：0~+10V 雙極性電源：-10~+10V | |||
| 顯示與通信模塊 | ||||
| 主控通道數(shù) | 1~3 路 | |||
| D/A 轉(zhuǎn)換器 | 16/24 Bit ±10V 輸出 | |||
| A/D 轉(zhuǎn)換器 | 16Bit ±10V 輸入 | |||
| 輸出電壓分辨率 | 16Bit( 滿幅值 1/30000)、24Bit( 滿幅值的 1/100000) | |||
| 串口/USB通信接口 | RS-232/RS-422( 波特率 9600)/USB 2.0 | |||
| 機(jī)箱與供電模塊 | ||||
| 供電模式 | AC 220V±10％ 50Hz±10％ | |||
| 電流限制 | 短路保護(hù) | |||
| 長(zhǎng)×高× 深 | 500×170×360mm | 280×170×360mm | ||
| 功能表 | ||||
| 型號(hào) | E00 | E01 | ||
| 組合形式 | 可配備驅(qū)動(dòng)，傳感和主控模塊，詳見(jiàn)各模塊及組合說(shuō)明 | |||
| 外部特征 | 各模塊間可任意組合，可升級(jí) | |||
| 基本控制方式 | 手動(dòng)調(diào)節(jié)、模擬輸入、計(jì)算機(jī)串口 /USB 接口、自發(fā)波形控制、開(kāi) / 閉環(huán)控制 | |||
| 基本功能 | 過(guò)流保護(hù)功能，溫度保護(hù)功能，動(dòng)態(tài)功率保護(hù) | |||
| 軟件配置 | 配有功能強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算機(jī)控制軟件 | |||
| 自發(fā)波形功能介紹 | 可自發(fā)輸出正弦波，方波，三角波，鋸齒波，頻率在 1kHz-10kHz以內(nèi)不衰減 | |||
| 液晶鍵盤(pán)通訊接口 | 標(biāo)配（LCD，薄膜按鍵，RS-232，RS-422，USB） | |||
