美國BROOKS布魯克斯公司熱式質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產品。它與傳統的體積流量儀器截然不同，BROOKS質量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產品在各種不同的工作環境下均有較高的精度。被測流量可設計成質量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質量流量計產品都能同現有的工業儀表兼容，安裝簡便。
常用型號有：5850E、5850I 、5851E,SLA5850S,SLA5851S,SLA5853S
其他型號：
5861E質量流量計
5863E質量流量計
5853E質量流量控制器
5965質量流量控制器
5964質量流量控制器
4860質量流量計
4850質量流量控制器
5863S質量流量計
5861S質量流量計
5860S質量流量計
5853S質量流量控制器
5851S質量流量控制器
5850S質量流量控制器
5850i質量流量控制器
SLA7860質量流量計
SLA7850質量流量控制器
SLA7960質量流量計
SLA7950質量流量控制器
B950質量流量控制器
SLAMF63質量流量計
SLAMF61質量流量計
SLAMF60質量流量計
SLAMF53質量流量控制器
SLAMF51質量流量控制器
SLAMF50質量流量控制器
SLA5863質量流量計
SLA5861流量計
SLA5860流量計
SLA5853質量流量控制器
SLA5851流量控制器
SLA5850質量流量控制器
SLAMF60_防爆型數模橡膠密封質量流量計(30C51L)布魯克斯/Brooks氣體質量流量控制器和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。?數模橡膠密封;流量范圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)
