氣體質量流量控制器(MFC)在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括:電子工藝設備,如:氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統、真空鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結構
氣體質量流量計由流量傳感器(Sensor),分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質量流量計的基礎上,再加上調節閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設置有穩定電源,3位半數字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電+5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)