超精密X/XY中空型納米位移臺 內置高性能壓電陶瓷作為驅動元件，采用SGS傳感器閉環，實現精密高速定位運動，產品結構緊湊，易于集成，采用分離式結構設計，減小了兩自由度之間的耦合，采用高可靠性的壓電陶瓷驅動，具有較高的重復定位精度和納米級位移分辨率，機體材料分鋁合金，嚴格保證構結精度;采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動結構； 采用*的表面處理工藝，提高了適應不同工作環境的能力。平臺安裝和固定通過頂部與底部進行操作。底部四個M4通孔用于固定的平臺本體，對于產品在靜態或動態應用是非常重要的。在頂部板上安裝有四個M3螺紋孔，用于安裝（負載）外部元件使用。
超精密X/XY中空型納米位移臺產品特點與技術優勢：
>當步進到制定位置后，施加在壓電陶瓷上的電壓變為0V，因此不存在由于外加電信號而產生噪音或飄逸問題；
>驅動定位器所需要的電壓一般較低（60V或150V），因此不需要進行高壓屏蔽，很多低壓中使用的電纜和接口都可以在這里使用；
>Attocube定位器可以同時作為粗逼近裝置和精細掃描頭使用，因此*的提高了設備的穩定性和結構的緊湊性。
工作環境：
> 工作環境 (極低溫；高磁場；超高真空)。
> 閉循環操作，可跟位置敏感器連用，形成閉循環位置控制； > 大的行程： 厘米級，大為20cm；
> 極緊湊的結構設計： Ø11X11mm的定位器可提供幾個毫米的行程；
> 負載能力： 超高自身重量的許多倍，大負載為300g；
> 操作模式： 單一定位器可實現粗逼近與精細掃描兩種操作；
> 可靠性： 可重復步進數十億次；
> 納米精度的補償，*的穩定性（低的驅動電壓；無機械性漂移；不存在齒間隙；SPM掃描中可以達到原子級分辨；）
參數說明
| 是否有現貨： | 是 | 功能： | 位置伺服 |
| 控制方式： | 閉環 | 驅動元件類型： | 機電 |
| 型號： | X/XY軸 PK1L100-150U/3 | 規格： | X/XY軸 PK1L100-150U/3 |
| 商標： | nanomotions | 包裝： | 減震 |
| 產量： | 10 |
