壓電馬達線性平移臺采用無聲的超聲波馬達,超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子,在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波振動,促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動,每個循環的進給為幾個納米,高頻的信號,可以使轉子高速的運動。
壓電馬達線性平移臺主要應用:
l 光電子學
l 掃描電子顯微鏡
l 半導體生產
l 醫學和材料科學
l 生命科學與生物技術學
l 顯微鏡和計量學
主要特點:
l 大行程 (92mm)
l 高精度(78nm)
l 高速度(400mm/s)
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁環境
選型:
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上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發區,是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發,并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內技術空白,打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產業和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。