芯明天壓電物鏡定位器
XP-721系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的，采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置可以帶動(dòng)物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
芯明天壓電物鏡定位器
XP-721系列為小體積常規(guī)型壓電物鏡定位器，采用分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可與多種顯微鏡配套使用。種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。
特性
• Z向運(yùn)動(dòng)，zui大行程110μm • zui大承載0.2kg • 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 聚焦穩(wěn)定性好
外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 可裝配多種品牌、尺寸的物鏡 |
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快速安裝、高穩(wěn)定性、長(zhǎng)使用壽命 | 頻率負(fù)載曲線 | 應(yīng)用實(shí)例-倒置光學(xué)顯微鏡 | |
XP-721壓電物鏡定位器為通用型顯微成像聚焦定位器，采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)的掃描范圍為110μm。 產(chǎn)品通過(guò)螺紋適配器安裝于透鏡連接架與物鏡間。將物鏡定位器主體通過(guò)螺紋連接到透鏡轉(zhuǎn)動(dòng)架上，再將物鏡連接到定位器上，這種設(shè)計(jì)使得拆卸物鏡時(shí)不需要拆下其它組件。 物鏡定位器內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，與優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)相結(jié)合，具有穩(wěn)定性好、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。 |
| XP-721系列壓電物鏡定位器安裝在倒置光學(xué)顯微鏡中。
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響應(yīng)時(shí)間可調(diào)節(jié) | 驅(qū)動(dòng)方式 | 閉環(huán)曲線 | |
配不同控制與承載響應(yīng)時(shí)間可調(diào)。
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應(yīng)用
• 三維成像 • 精密定位 • 掃描顯微 • 干涉/計(jì)量 • 半導(dǎo)體測(cè)試 • 表面檢測(cè) • 光學(xué)計(jì)量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
