SmartTrak 140超低壓損氣體質量流量控制器：

特征：

• zui高可控制氣體流量為500slpm（nlpm），壓損為4.5psid(310mBard)
• 高精度：±1.0%滿量程
• 高重復性：±0.2%的滿量程
• 真正的線性性能：10種標準氣體的線性度均為±1.0%滿量程
• 使用Dial-A-Gas 技術內置了10種不同的氣體。
• 精密的數字PID閥門控制，自動調節。
• 大的閥門流通系數（Cv），確保在低壓差情況下精確控制氣體流量。
• 的線性層流器元件（LFE）
• *的鉑金毛細管傳感器技術
• 全 316不銹鋼表體
• *的引導模塊（固定或手持）可方便查看或更改關鍵參數
• 避免現場重新調零和調節zui大值
• 有多重模擬和數字輸出可選：PS-232，RS-485，4-20Ma，0-5，1-5，0-10VDC
• 基準式標定，證書可溯源至NIST
• 數字通訊支持：參照100系列（P1）
• 可選Compod添加Modbus組成網絡通訊，包括繼電器，累計器、輸入和顯示。

性能參數：

• 精度：
• 標準標定：±1.0%滿量程及工作條件下的線性度（100M在201-300slpm時精度為2%的滿量程）
• Dial-A-Gas®：±1.0%的滿量程（所有內置的10種氣體）
• 重復性：±0.2%的滿量程
• 溫度系數：±0.025%的滿量程每°F（0.05%的滿量程°C）或更小
• 壓力系數：±0.01%的滿量程每psi（0.15%的滿量程bar）或更小
• 響應時間：
• 600ms的時間常數，4秒（典型的）達到zui終的±2.0%

工作條件：

質量流量：
0-500slpm

氣體：可測量及控制所有清潔氣體包括腐蝕性和有毒氣體，訂購時請指明。

氣體和環境溫度：
32到122°F（0到50°C）
氣體壓力：
zui大500psig（34bar）

壓降

泄露參數：
5X10-9atm cc/sec 氦氣或更低
控制范圍：
2-滿量程，1.9%時閥門自動關斷
輸出信號：
模擬：
線性4-20mA，500歐姆zui大環路電阻和下列之一（用戶可選）
線性0-5VDC，1000歐姆zui小負載電阻
線性0-10VDC，1000歐姆zui小負載電阻
線性1-5VDC，1000歐姆zui小負載電阻
控制信號：
模擬（任選一個）：
線性：4-20mA，0-5VDC，0-10VDC，1-5VDC
電源要求:（紋波峰谷值波動不應該超過100mV 24VDC±10%(800mA，可調節)
與介質接觸材質：
316不銹鋼或相同規格的不銹鋼，416不銹鋼，Viton或Neoprene“O”型圈和Viton，Neoprene 或者 Kalrez材料閥座