SPM監測儀 CS-150
SPM監測儀 CS-150是半導體制造中清洗工藝的SPM溶液用于高精度藥液濃度的監測儀，實現了過去所沒有的高速響應性和小巧化。可以實時檢測金屬離子以及有機物的清除作業中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分濃度，通過報警信號通知自動補給的時間。由于實現了高速響應性和短的檢測周期，可以忠實地跟蹤濃度變化，并且，由于小巧化設計，可以更容易組裝到清洗裝置中。
特征
以大約3秒的檢測周期支持300mm工藝的濃度管理。實現了約3秒這樣短的檢測周期。大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持多徑方式和單徑方式清洗裝置詳細的濃度管理。
?小巧設計有利于清洗裝置節省空間
底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設計有利于清洗裝置節省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。
*與本公司產品CS-340比較
?通過減少清洗工藝中的批次不良，提高了原材料利用率
通過使用監測輸出，進行SPM溶液的補給控制，從而實現高重現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高原材料利用率。
?通過全自動檢測，實現了簡易管理
用戶只需要引入SPM溶液即可。由于檢測是全自動方式，所以開始檢測后不需要進行任何控制。并且，參照光譜檢測由于使用空氣，所以不需要利用水。
?通過采取*的氣泡對策，可以進行連續檢測
由于內置有脫泡功能，在快到檢測池時分離氣泡，從而可以在液體流動的狀態下連續檢測。
