*質量流量計微小流量測量采用微機械加工技術，實現微小流量測量，微小流量質量流量計特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，微小流量質量流量計量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，微小流量質量流量計廣泛應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
*質量流量計微小流量測量產品特點：
·產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門
·微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升
·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化
·單個芯片的流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高
·機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠
·結構的優化，流量計的壓力損失達到zui小化
·采用的傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠
·*零點自校功能，測量更準確
·多種氣體實際標定，全量程補償
·快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理
·規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定
·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求
·*的流量計報警功能，使監控更可靠
·操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數
·運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的*
型號說明：
| 產品類別 | 量程 （kg/h） | 誤差 （%） | 零點穩定度（kg/h） | 接液材料 |
| TCD001 | 10 | ±0.2/±0.5 | 0.0008 | 316L不銹鋼 |
| TCD003 | 260 | ±0.15/±0.2 | 0.012 | 316L不銹鋼 |
| TCD008 | 1800 | ±0.15/±0.2 | 0.090 | 316L不銹鋼 |
| TCD015 | 3000 | ±0.15/±0.2 | 0.150 | 316L不銹鋼 |
| TCD025 | 7000 | ±0.15/±0.2 | 0.320 | 316L不銹鋼 |
| TCD050 | 35000 | ±0.15/±0.2 | 1.800 | 316L不銹鋼 |
| TCD080 | 75000 | ±0.15/±0.2 | 5.500 | 316L不銹鋼 |
| TCD100 | 295000 | ±0.15/±0.2 | 15.000 | 316L不銹鋼 |
| TCD150 | 635000 | ±0.15/±0.2 | 32.150 | 316L不銹鋼 |
| TCD200 | 1100000 | ±0.2/±0.5 | 66.750 | 316L不銹鋼 |
| TCD250 | 1600000 | ±0.2/±0.5 | 97.500 | 316L不銹鋼 |
壓力等級
防爆產品外殼耐壓設計符合GB 3836.2中15.1條款規定。傳感器沒有因過程溫度而發生壓力折減。
| 產品規格 | 組件 | 等級 | |
| psi | bar | ||
| TCC015 | 測量管 | 5945 | 410 |
| 傳感器外殼 | 1450 | 100 | |
| 傳感器和過程接頭(1) | 5000 | 345 | |
| 配合NPT配件(2) | 4600 | 317 | |
| TCD015~TCD150 | 測量管 | 1450 | 100 |
| 傳感器外殼 | 580 | 40 | |
| 連接法蘭(3) | 580 | 40 | |
| TCT | 變送器外殼 | 符合GB 3836.2規定的水壓試驗(4) | |
1.所有接頭等級為 5000 psi (345bar) — 接頭 SWG 型接頭與 ASME B31.3 相應， SAE 接頭與 SAE J1453 相應。
2.與過程連接選件選項A一起提供的附加件（陰接頭NPT 的12 號O 形圈表面密封）的壓力等級。此處列出的法蘭都是標準選項。同時還提供其他類型的法蘭規格。 請銷售代表。
3.適用于防爆型產品，將設備安裝在壓力試驗臺上，通入1. 5倍公稱壓力，保持30分鐘。
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溫度補償
理論與實驗結果表明：科氏質量流量計隨著流體溫度的升高，將產生正向的測量誤差，誤差與溫度的關系為2次曲線關系，在特定的溫度范圍內，可以簡化為直線關系；利用論文研究的溫度補償模型，流量計從未補償時的溫度與精度關系+0.05347%/℃降低為補償后的-0.00625%/℃，補償*。科氏質量流量計的測量管管材是不銹鋼，一般采用316L。大量實驗數據表明，不銹鋼的彈性模量隨溫度升高而降低。以下是經我公司研發部測試后溫度補償得出的結果。
沒有溫度補償靜態稱重法水溫變化標定實驗結果
| 溫度 (℃) | 測量值 (kg) | 標準值 (kg) | 誤差 (%) | 平均誤差(%) | 重復性 (%) |
| 22.1 | 20.0035 | 20.0005 | 0.02 | 0.02 | 0.04 |
| 20.0020 | 19.9906 | 0.06 | |||
| 20.0155 | 20.0201 | -0.02 | |||
| 32.2 | 19.9881 | 19.8679 | 0.61 | 0.56 | 0.04 |
| 20.0136 | 19.9072 | 0.53 | |||
| 20.0027 | 19.8924 | 0.55 |
科氏質量流量計溫度補償后的標定結果
| 溫度 (℃) | 測量值 (kg) | 稱重值 (kg) | 誤差 (%) | 平均誤差(%) | 重復性 (%) |
| 24.5 | 20.0031 | 20.0140 | -0.05 | -0.01 | 0.05 |
| 20.0042 | 20.0091 | -0.02 | |||
| 19.9985 | 19.9894 | 0.05 | |||
| 34.1 | 20.0024 | 20.0189 | -0.08 | -0.07 | 0.02 |
| 20.0039 | 20.0189 | -0.07 | |||
| 20.0153 | 20.0238 | -0.04 |
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