氦質譜檢漏儀系統的氦質譜檢漏儀關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。

 

    氦質譜檢漏儀產品特點：

 

    產品外觀：精心設計、外觀新穎、美觀大方、堅固耐用。

 

    操作簡便：體積小、重量適中、結構合理、操作簡便、人性化面板。

 

    操作系統：結合應用領域的產品特性，控制系統可以根據客戶需求定制。

 

    性能卓越：核心部件采用德國、日本進口器件，響應時間快、測量范圍寬、靈敏度高、檢漏快速。

 

    功能強大：菜單設置選項豐富，多重權限管理控制，多種檢漏模式自動切換。

 

    多種接口：具有RS485/232，外觀IO設計，外部規管標準接口。

 

    可靠性高：采用抗氧化強的氧化釔銥燈絲提高燈絲壽命，降低熱量，極強的保護功能。

 

    檢漏精準：采用領先的氦質譜室與核心部件，確保檢漏精準。

 

    氦分子在氦質譜檢漏儀器高真空的環境中擴散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質量及粘滯系數小，因而極易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無毒、無危險，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。

 

    將這種氣體噴到接有氦氦質譜檢漏儀(調整到僅對氦起反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦氦質譜檢漏儀立即有所反應，從而可知漏孔所在位置及檢測到漏氣量大小。