在科學技術的不斷發展的時代，氦質譜及其應用技術也在不斷的發展與完善。這主要由兩方面的因素所決定：一方面，檢漏應用技術不斷的對檢漏儀提出新的要求，迫使儀器自身的更新；另一方面，檢漏技術也在隨時隨地補充現有檢漏儀在應用過程中存在的某些不足，因此二者的關系是相互補充、相互促進的。

 

    1、氦質譜檢漏儀的進展

 

    經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

 

    集中體現在如下幾個方面：

 

    （1）便攜式：最近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。

 

    （2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

 

    （3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

 

    （4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

 

    （5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。例如可通過采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。