氦質(zhì)譜檢漏儀的發(fā)展史必須追溯到上個世紀初。早在1918年，一次世界大戰(zhàn)期間，歐洲國家因戰(zhàn)爭和軍工的需要就開始接觸檢漏，并開始對檢漏手段的提升做了大量的基礎研究工作，直到1941年，當時正處于第二次世界大戰(zhàn)期中。

 

    當時，科學家獲知德國正在研制一種新型炸彈。這種炸彈的原理就是基于剛剛發(fā)現(xiàn)的鈾的同位素的裂變現(xiàn)象。羅斯?？偨y(tǒng)認為必須搶先達到此目的，加之第二年的珍珠港事件加速誕生了“曼哈頓”計劃。這個計劃的兩個目標之一就是研制鈾235炸彈（即原子彈）。為此，必須研制超高靈敏的檢漏儀。

 

    其原因還得從鈾235的濃縮談起。天然鈾中含有鈾238和鈾235兩種同位素。能夠發(fā)生裂變反應的同位素是鈾235，是原子彈的主要原料。可是天然鈾中鈾235的含量僅0.7%。為此，科學家只能采用氣體擴散法，從鈾238中把含量甚微的鈾235分離出來。

 

    氣體擴散法分離時鈾238的原理是這樣的：若有一個極其微小的孔隙，部分氣體分子通過這個微孔的速率取決于它們的分子量。分子量小的氣體分子能夠較快的通過這些微孔。如果讓混合氣體通過由多孔膜形成的長管，就可以成功地把兩種氣體分離。鈾235是固態(tài)，而擴散分離需要的是氣體。為此,得把金屬鈾變成氮化物UF6，UF6在室溫下就會蒸發(fā)。

 

    一個不利的因素是，在潮濕氣氛中很容易生成腐蝕性很強的氫氟酸和鈾的氧化物，鈾的氧化物又是危險的易燃易爆材料。這兩種情況在氣體擴散分離法中應當防止。在曼哈頓計劃中,鈾235的分離是把UF6通過幾公里長的多孔管道的擴散后才獲得的。