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氦質譜檢漏儀為什么選擇氦氣為示漏氣體

2020-12-10標簽:氦質譜檢漏儀

    氦質譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名,但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等,主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體,原因主要有以下幾點:
 
    1、氦氣的質量輕,易于穿過漏孔,進入系統時流動和擴散快,因此響應快,檢漏靈敏度高。
 
    2、氦離子質荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。
 
    3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。
 
    以上這些因素都為提高氦質譜檢漏儀器的靈敏度創造了良好條件。另外,氦氣作為一種惰性氣體,性質不活潑,不與真空器件起化學反應,無毒,也不會污染環境,因此使用起來也十分安全。
 
    珂勒曦是一家堅持自主研發的螺桿真空泵廠家,旗下螺桿真空泵產品不僅清潔無污染,而且擁有較寬的抽速范圍以及良好的節能、穩定、易維護等優勢,廣泛適用于醫藥、化工、半導體等行業。
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